[实用新型]一种酸性蚀刻再生液的零排放系统有效
申请号: | 201920741627.0 | 申请日: | 2019-05-22 |
公开(公告)号: | CN210163527U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 陈水华;童毅;李聘珍 | 申请(专利权)人: | 博罗县华盈科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 马晓静 |
地址: | 516100 广东省惠州市博罗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 再生 排放 系统 | ||
1.一种酸性蚀刻再生液的零排放系统,包括冷却箱(7)、环形管(14)和蒸发罐(4),其特征在于:所述蒸发罐(4)顶端的一侧安装有真空泵(6),且真空泵(6)一侧蒸发罐(4)的顶端安装有自动下料机构(5),所述蒸发罐(4)的一侧设置有储存箱(3),且储存箱(3)的顶端安装有第二水泵(24),所述储存箱(3)内部的顶端设置有第三过滤网(25),所述蒸发罐(4)的两侧内壁上均匀安装有加热管(2),所述蒸发罐(4)底端的两侧均设置有第二底柱(23),且第二底柱(23)的一侧安装有控制器(1),所述蒸发罐(4)的另一侧通过蒸气管(8)固定连接有冷却箱(7),且冷却箱(7)顶端的两侧内壁之间设置有第一过滤网(10),所述第一过滤网(10)上方冷却箱(7)顶端的两侧内壁之间安装有风机(9),所述第一过滤网(10)下方冷却箱(7)的两端内壁之间均匀设置有挡水板(11),所述冷却箱(7)内部的底端安装有第一水泵(18),所述真空泵(6)、第一水泵(18)、第二水泵(24)、风机(9)、加热管(2)和自动下料机构(5)均通过导线与控制器(1)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻再生液的零排放系统,其特征在于:所述蒸气管(8)一侧冷却箱(7)的两侧内壁之间设置有环形管(14),且环形管(14)下方冷却箱(7)的两端内壁之间设置有第二过滤网(15)。
3.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻再生液的零排放系统,其特征在于:所述环形管(14)一侧冷却箱(7)的一侧设置有出液管(16),且出液管(16)下方冷却箱(7)的一侧设置有出水管(17)。
4.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻再生液的零排放系统,其特征在于:所述第一水泵(18)的一侧设置有输出管(12),且输出管(12)的一侧延伸至冷却箱(7)的一侧内壁上,冷却箱(7)两端内壁之间输出管(12)的外侧均匀设置有喷头(13)。
5.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻再生液的零排放系统,其特征在于:所述冷却箱(7)底端的两侧均设置有第一底柱(19),且第一底柱(19)一侧蒸发罐(4)底端的两侧均设置有第二底柱(23),所述第一底柱(19)的一侧之间设置有再生箱(21),且再生箱(21)顶端的中心位置处设置有进料口(20),再生箱(21)的一侧通过连接管(22)固定连接于蒸发罐(4)的底端。
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