[实用新型]一种原位拉伸装置

权利要求书

1.一种原位拉伸装置，包括MEMS力学芯片和设置在MEMS力学芯片上的第一搭载侧、第二搭载侧，其特征在于，

还包括第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和拉伸样品；

所述第一拉伸辅助件连接所述第一搭载侧，所述拉伸样品的两端分别连接所述第二拉伸辅助件与所述第二搭载侧；

所述第一拉伸辅助件与所述第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构。

2.根据权利要求1所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述拉伸样品远离所述第二拉伸辅助件的一端设有连接部，所述连接部与所述第二搭载侧相连接。

3.根据权利要求2所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述第二拉伸辅助件、所述拉伸样品和所述连接部设为一体式构件；所述第一拉伸辅助件与所述第一搭载侧之间、及所述连接部与所述第二搭载侧之间均通过Pt沉积相连接。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述第一拉伸辅助件包括C形勾套，在所述C形勾套的开口端设有限位口；所述第二拉伸辅助件包括纵向限位杆和横向传力杆构成的T形结构；所述限位杆置于所述C形勾套中，所述传力杆穿过所述C形勾套的限位口，以使得所述C形勾套与所述T形结构相嵌套成勾套结构。

5.根据权利要求4所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述限位杆与所述C形勾套的内侧壁之间、及所述传力杆与所述限位口之间均预留有间隙，所述限位杆的上表面与所述C形勾套的上表面的高度差小于所述限位杆或所述C形勾套的厚度。

6.根据权利要求5所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述C形勾套的开口端设有两个朝开口内侧相对布置的沿边，两个所述沿边构成所述限位口。

7.根据权利要求1-3中任意一项所述的原位拉伸装置，其特征在于，所述拉伸样品呈条形结构，并且拉伸样品的表面相对于所述MEMS力学芯片的上表面呈倾斜布置。