[实用新型]一种全自动溅镀装置

说明书

本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。

技术领域

本实用新型涉及溅镀技术领域，具体为一种全自动溅镀装置。

背景技术

溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glow discharge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。但是，目前的溅镀装置其工件夹具通常放置在底部，这就导致溅镀效率低，自动化程度低。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种全自动溅镀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。

所述阴极电极固定支架外侧设有密封绝缘衬垫，密封绝缘衬垫安装在下固定板上。

所述溅镀气体入口上安装有电磁阀，溅镀气体入口通过输送管连接于溅镀气体存储罐，溅镀气体存储罐安装在上固定板上。

所述抽真空排出口连接于抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵安装支架上，所述真空泵安装支架安装在下固定板上。

所述溅镀件固定支架包括左夹紧杆、右夹紧杆，所述左夹紧杆、右夹紧杆交叉设置，所述左夹紧杆、右夹紧杆中部提高旋转销安装固定，所述左夹紧杆、右夹紧杆上端之间设有双头气缸，所述双头气缸的输出轴通过旋转销安装在左夹紧杆、右夹紧杆上端，所述双头气缸的缸体一侧上设有支架固定杆，支架固定杆安装在旋转电机的输出轴上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端外侧设有防刮衬垫，所述防刮衬垫可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。

所述防刮衬垫安装在衬垫固定座上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端设有固定孔，衬垫固定座通过固定卡环可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的溅镀件固定支架结构示意图。

具体实施方式