[实用新型]变角度固态光刻胶压膜贴合装置有效

专利信息
申请号: 201920691312.X 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN210131762U 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 高远;蒋国忠;宋荣华;王志安 申请(专利权)人: 江西联创致光科技有限公司
主分类号: B05C5/04 分类号: B05C5/04
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 黄新平
地址: 330029 江西省南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 角度 固态 光刻 胶压膜 贴合 装置
【说明书】:

一种变角度固态光刻胶压膜贴合装置,包括压膜热压轮,其特征在于,对称设置的两只压膜热压轮前端设有一对活动的导轮,导轮的位置能上下调节,同侧的压膜热压轮、导轮的切线与水平线夹角在0‑80度之间。本实用新型的变角度固态光刻胶压膜贴合装置,通过在压膜热压轮前端新增一只可上下调整的导轮,透过调整此导轮的上下高度,来实现各种固态光刻胶进入压膜热压轮贴合的角度参数,使得基材与固态光刻胶贴合更加均匀,并能使不同厚度的固态光刻胶匹配对应不同贴合角度,以达到更好的基材贴合黏着性。

技术领域

本实用新型涉及一种变角度固态光刻胶压膜贴合装置。

背景技术

光刻胶按形态分为固态光刻胶及液态光刻胶两种,而固态光刻胶与液态光刻胶在涂布上有很大的区别,固态光刻胶是以压膜方式透过热压轮将固态光刻胶紧压贴合到基材上,液态光刻胶则有滚轮涂布、狭缝涂布、旋转涂布及浸泡涂布等方式。压膜设备着重的技术参数一般为热压轮温度、热压轮压力、压膜速度张力等,透过这些技术参数调整来达到最好的贴合品质。

目前压膜机的固态光刻胶贴合角度多为固定式垂直90度进入热压轮的设计架构(如图3)。固态光刻胶在与基材接触贴合前,先接触热压轮并受到热压轮温度影响而呈现熔融状态,当固态光刻胶接触热压轮的时间过长,固态光刻胶的流动性提高,从而导致贴合时胶体会往两侧溢胶,严重影响贴合后固态光刻胶厚度的均匀性。

发明内容

本实用新型的目的就是提供一种贴合均匀性好,能使不同厚度的固态光刻胶匹配对应不同贴合角度的变角度固态光刻胶压膜贴合装置。

本实用新型的变角度固态光刻胶压膜贴合装置,包括压膜热压轮,其特征在于,对称设置的两只压膜热压轮前端设有一对活动的导轮,导轮的位置能上下调节,同侧的压膜热压轮、导轮的切线与水平线夹角在0-80度之间。

本实用新型的变角度固态光刻胶压膜贴合装置,通过在压膜热压轮前端新增一只可上下调整的导轮,透过调整此导轮的上下高度,来实现各种固态光刻胶进入压膜热压轮贴合的角度参数,使得基材与固态光刻胶贴合更加均匀,并能使不同厚度的固态光刻胶匹配对应不同贴合角度,以达到更好的基材贴合黏着性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的一种实施例 结构示意图;

图3为现有技术的结构示意图;

1、压膜热压轮,2、导轮,11、基材,12、固态光刻胶。

具体实施方式

一种变角度固态光刻胶压膜贴合装置,包括压膜热压轮1,其特征在于,对称设置的两只压膜热压轮1前端设有一对活动的导轮2,导轮2的位置能上下调节,同侧的压膜热压轮1、导轮2的切线与水平线夹角在0-80度之间。

如图1,将导轮2高度调整至最低,可实现固态光刻胶12进入压膜热压轮1角度为0度,固态光刻胶12在与基材11贴合前不会受到压膜热压轮1温度影响。

如图2,将导轮2高度提高,实现固态光刻胶12进入压膜热压轮1角度为60度,固态光刻胶12在与基材11贴合前受到压膜热压轮1温度影响的时间为原本固定式90度的三分之二。

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