[实用新型]一种高温扩散设备上的新型传动结构

说明书

本实用新型提供一种高温扩散设备上的新型传动结构，包括扩散设备主体以及传动机构，传动机构由电磁离合器、从动带轮、导轨同步带连接件、导轨连接件、料舟支撑板、上导轨、接近开关、下导轨、同步带、下滑块、上滑块构成，导轨连接件与上导轨之间用螺栓固定，上导轨穿过上滑块，上滑块固定在扩散设备主体上，上导轨的外端装有料舟支撑板，料舟支撑板上开孔用于固定料舟，传动结构的左右两侧合适的位置装有接近开关，用于限制上导轨位移距离，本实用新型具有如下的有益效果：将传动机构位置改为放在扩散设备主体后面，通过一系列的机械结构的改变，减小工作空间，便于客户在更小的工作间内操作使用，节省设备占地和使用面积。

技术领域

本实用新型是一种高温扩散设备上的新型传动结构，属于一种高温扩散设备。

背景技术

扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

目前行业内所使用的扩散炉传动机构位置放在主机正面，占用工作空间，需要占用较大的场地操作；传动机构的电机直接作用在上导轨之上，断电后电机停止，则上导轨被锁死，无法继续移动，耽误生产。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种高温扩散设备上的新型传动结构，以解决上述背景技术中提出的问题，通过对传动结构和安装位置的改变，达到减小设备占地面积、在断电后传动机构仍能继续移动的目的。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种高温扩散设备上的新型传动结构，包括扩散设备主体以及传动机构，传动机构由电磁离合器、从动带轮、导轨同步带连接件、导轨连接件、料舟支撑板、上导轨、接近开关、下导轨、同步带、下滑块、上滑块构成，电磁离合器和从动带轮之间用同步带连接，电磁离合器和从动带轮分别在扩散设备主体上用螺栓固定，同步带和上导轨之间用导轨同步带连接件连接，上导轨在同步带上方，导轨同步带连接件与上导轨之间用螺钉固定，下导轨和上导轨之间用导轨连接件连接，上导轨在下导轨上方，导轨连接件与下导轨之间设有下滑块，导轨连接件与上导轨之间用螺栓固定，上导轨穿过上滑块，上滑块固定在扩散设备主体上，上导轨的外端装有料舟支撑板，料舟支撑板上开孔用于固定料舟，传动结构的左右两侧合适的位置装有接近开关，用于限制上导轨位移距离。

进一步地，所述传动机构设有四条，四条传动机构安装在扩散设备主体的背面。

进一步地，还包括背板、横梁以及固定板，背板设置在扩散设备主体的后表面，固定板安装在扩散设备主体的前表面，横梁垂直的与固定板连接。

进一步地，电磁离合器固定在背板上，从动带轮、上滑块固定在固定板表面，下导轨固定在横梁上。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种高温扩散设备上的新型传动结构，将传动机构位置改为放在扩散设备主体后面，通过一系列的机械结构的改变，减小工作空间，便于客户在更小的工作间内操作使用，节省设备占地和使用面积；

该传动机构在电机和上导轨之间设有电磁离合器，断电后电机和上导轨的连接断开，可手动移动上导轨，一旦设备出现断电过伺服系统故障，仍然可以手动将物料送入或送出工艺腔中，实用性强，适于推广。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种高温扩散设备上的新型传动结构的传动机构示意图；

图2为本实用新型一种高温扩散设备上的新型传动结构的氧化扩散炉正视示意图；

图3为本实用新型一种高温扩散设备上的新型传动结构的氧化扩散炉俯视示意图；