[实用新型]一种抬升工具

说明书

本实用新型公开了一种抬升工具，包括套筒组件、驱动组件和夹持件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶；所述驱动组件设于所述套筒的外侧，包括轴和齿轮；所述轴与套筒转动相连，所述齿轮固定套设在所述轴上，且位于套筒上的缺口处，与升降杆外壁上的凸起相啮合；所述夹持件与所述套筒的外壁相连。本实用新型能够克服重力的影响，采用抬举后再拧螺纹的方法，实现了单人就可以方便地完成柱形靶的安装和拆卸，相比于传统的双人安装方式，不但节省了人力，同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。

技术领域

本实用新型属于溅射镀膜设备技术领域，具体涉及一种抬升工具，尤其涉及一种应用于柱形靶安装的抬升工具。

背景技术

现有技术中在进行溅射柱形靶的常规安装时，一般需要至少两人协作，当完成将溅射柱形靶安装在设备上之后，还需要两个人分别在上螺纹处以及下螺纹处配合进行溅射柱形靶的拧紧。但是受重力作用的影响，下螺纹相比于上螺纹要容易拧紧的多，且在进行溅射柱形靶的松开时，也是下螺纹比上螺纹容易松开，这样导致溅射柱形靶的安装与拆卸都较为不便。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种抬升工具，用于克服重力的影响，采用抬举后再拧螺纹的方法，实现了单人就可以方便地完成靶的安装和拆卸，相比于传统的双人安装方式，不但节省了人力，同时还提高了安装的可靠性及拆卸的方便性。

为了实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种抬升工具，包括：

套筒组件，所述套筒组件包括套筒、升降杆和支撑件；所述套筒的壁上设有缺口；所述升降杆设于所述套筒内，其外表面上设有若干个凸起；所述支撑件与所述套筒的外表面相连，用于支撑柱形靶；

驱动组件，所述驱动组件设于所述套筒的外侧，包括轴和齿轮；所述轴与套筒转动相连，所述齿轮固定套设在所述轴上，且位于套筒上的缺口处，与升降杆外壁上的凸起相啮合；

夹持件，所述夹持件与所述套筒的外壁相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹持件包括第一端板以及设于第一端板下方的第二端板，二者的其中一端与所述套筒的外表面相连，另一端均处于自由状态，形成夹持口；

所述第二端板上还设有贯通孔，所述贯通孔设有夹子。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹子为肘夹。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降杆为齿条杆。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动组件还包括自锁片，所述自锁片铰接于套筒外表面，用于与齿轮啮合。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑件为托盘。

作为本实用新型的进一步改进，所述托盘为双环形台阶托盘。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑件的延伸方向垂直于所述套筒的延伸方向。

作为本实用新型的进一步改进，所述轴的横截面呈六边形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型提出一种应用于柱形靶的垂直安装拆卸工具，主要用于柱形靶的抬升安装和拆卸，采用此工具不但可以提高柱形靶安装的可靠性和拆卸的方便性，同时可以节省至少一半人力。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的整体结构的剖视图；

图中：