[实用新型]一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。本实用新型的优点是：结构简单，集成性高；解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题；具有量产可行性；尤其适用于物理气相沉积领域，如蒸发镀或溅射镀。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是物理气相沉积领域，具体涉及一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构。

背景技术

随着通讯技术飞速发展，在机器人、识别技术、车载等越来越多的领域，出现圆桶、环状的基板的应用，要求在外壁及内壁镀膜，增强的信号的传输或过滤某些干扰波段的信号。通常使用高低折射率材料交替镀要求较高的干涉膜层，这要求镀膜时，筒壁内的膜厚均匀性必须控制得非常好。对于桶形基板的外壁，通过行星旋转等方式，常规物理气相沉积方式已有不错的解决方案，但对于内壁尚无很好的量产镀膜方案，主要问题为内壁膜厚均匀性无法控制到很高的精度，达到±1%左右的膜厚均匀性要求，当前没有可实现的方案。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，随着圆筒形镀膜基板旋转，并结合伸入圆筒形镀膜基板内壁且弧度面型与圆筒形基底的弧度相一致的膜厚辅正板，对圆筒形镀膜基板的内壁均匀镀膜，解决镀膜区域内因圆筒形镀膜基板的放置位置的不同而产生的内壁膜厚分布不一致的问题。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种可实现圆筒形镀膜基板内壁镀膜的机构，其特征在于：所述机构包括驱动齿轮、至少一个传动轴以及至少一个膜厚辅正板，所述驱动齿轮外接动力，所述传动轴与所述驱动齿轮之间构成传动配合，所述传动轴在所述驱动齿轮的驱动下可带动圆筒形镀膜基板转动，所述膜厚辅正板布置在所述传动轴的另一侧且其布置位置满足于其可伸入于所述圆筒形基底的内孔的要求，所述膜厚辅正板的弧度面型与所述圆筒形基底的弧度相一致。

所述机构包括至少两个传动轴，所述传动轴分别连接有传动齿轮，相邻的传动齿轮通过一过渡齿轮构成传动配合，相邻传动轴之间通过所述传动齿轮及所述过渡齿轮的啮合构成传动配合。

所述传动轴贯穿一固定底座设置且所述传动轴的两端伸出所述固定底座外，所述传动齿轮及所述过渡齿轮位于所述固定底座的顶面。

所述固定底座上连接有一固定支架，所述固定支架通过一辅正板支架与膜厚辅正板相连接，所述辅正板支架与所述固定支架之间可拆卸式连接。

所述辅正板支架的两端通过定位块可移动式设置在所述固定支架上。

在所述传动轴的底端设置有装夹过渡块，所述圆筒形镀膜基板可通过连接所述装夹过渡块与所述传动轴构成传动配合。

所述传动轴与所述膜厚辅正板的数量构成对应。

本实用新型的优点是：在蒸发、溅射等物理气相沉积的镀膜设备上实现对圆筒形基板内侧均匀镀膜的目的；每个圆筒形基板配备一个膜厚辅正版，实现对每一个位置的圆筒形基板进行膜厚分布微调的目的，解决镀膜区域内因圆筒形基板的放置的位置不同而产生的内壁膜厚分布的不一致的问题；膜厚辅正版的拆卸方式为整体拆卸，安装位置的固定块具有可调性，可根据圆筒形基板的尺寸进行调整，定型定位后锁死，可以保证膜厚辅正版的安装位置具有重复性，膜厚辅正版的安装简单，具有量产可行性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中辅正板支架与固定支架的连接结构图。