[实用新型]一种硅片加工设备

说明书

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体是一种硅片加工设备，包括机架，所述机架上安装有作业架，所述机架的底部安装有工作台，所述作业架横向安装有传动螺杆，所述传动螺杆的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套，所述传动套的底端安装有固定架，所述固定架上安装有作业机头，所述作业机头内置打磨电机，所述打磨电机的驱动端安装有打磨辊，所述作业架的顶部侧边安装有驱动电机，所述驱动电机的驱动端安装有传动斜齿轮，所述传动螺杆的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮，所述传动斜齿轮分别与第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮呈交替式啮合。本实用新型能够批量性对硅片元件进行打磨作业，同时保证作业的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体是一种硅片加工设备。

背景技术

随着集成电路的发展，集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能方向发展，集成电路是现代信息产业的基础，集成电路所用的材料主要是硅、锗和砷化镓等，集成电路绝大部分都采用硅片，对硅片表面的平面度有很高的要求，以此需要对切割后的硅片进行打磨，传统硅片打磨装置在工作的过程中稳定性不足，硅片打磨过程中不便于安装与拆卸。

中国专利(授权公告号：CN208005390U)公布了一种硅片切割用打磨装置，通过缓冲减震机构提供硅片作业时的稳定性，但是其实际作业存在一定的缺陷，该专利为单工位作业机构，对于现有工艺化生产的流水线作业方式，无法有效适应，作业效率较低，无法融入道整个硅片加工流程中。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片加工设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片加工设备，包括机架，所述机架上安装有作业架，所述机架的底部安装有工作台，所述作业架横向安装有传动螺杆，所述传动螺杆的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套，所述传动套的底端安装有固定架，所述固定架上安装有作业机头，所述作业机头内置打磨电机，所述打磨电机的驱动端安装有打磨辊，所述作业架的顶部侧边安装有驱动电机，所述驱动电机的驱动端安装有传动斜齿轮，所述传动斜齿轮为不完全齿轮并且其齿纹周长为轮盘周长的一半，所述传动螺杆的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮，所述传动斜齿轮分别与第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮呈交替式啮合，所述机架的左右侧板的内壁设置有限位导轨，所述作业架左右侧壁上均安装有限位滑块，所述限位滑块嵌入至相应的限位导轨内，所述作业架的顶部安装有传动板，所述传动板上安装有传动齿条，所述机架的顶部安装有传动架，所述传动架上安装有传动齿轮，所述传动齿条与传动齿轮相啮合。

作为本实用新型进一步的方案：所述作业架的顶部设置有导向槽，所述传动套的顶部连接安装有导向块，所述导向块嵌合安装在导向槽内。

作为本实用新型进一步的方案：所述工作台上安装有若干道夹持装置，所述夹持装置内置有驱动气缸，所述驱动气缸的驱动端安装有驱动杆，所述驱动杆的外杆端安装有基板，所述基板的两端安装有内传动连杆，所述夹持装置两侧安装有外传动连杆，所述内传动连杆与外传动连杆通过活动栓相连接，所述所述内传动连杆与外传动连杆的连接端再通过活动栓安装有夹持杆架，所述夹持杆架的杆端安装有夹持钳。

作为本实用新型进一步的方案：所述驱动杆上缠绕有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一端与驱动气缸的底板相连接，所述缓冲弹簧的另一端安装在基板的内平面上。

作为本实用新型再进一步的方案：所述基板的外平面中间位置安装有直杆，所述直杆的杆端安装有吸盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

一、本申请通过交替式齿轮传动，从而使得螺纹传动机构不断变换传动方向，进而带动作业机头呈周期性作业，在批量性对硅片元件进行打磨作业的同时，也保证了打磨精度，便于作业人员操控。