[实用新型]一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室

说明书

本实用新型涉及一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室，包括风淋室壳体、风淋室内壁、以及位于风淋室壳体与风淋室内壁之间的过滤系统，过滤系统用于净化风淋室内的空气，过滤系统包括变速离心风机、真空发生器和过滤器，风淋室内壁的一侧安装有风淋口，相应另一侧安装有吸风口，变速离心风机的出风管路分两路，一路连接风淋口，另一路连接真空发生器的压缩空气进口，真空发生器位于吸风口侧，真空发生器的真空口连接吸风口，真空发生器的压缩空气出口通过管路将压缩空气输送至过滤器。本实用新型大大增加了风淋室的风淋除尘效果，从源头上有效地实现了超净实验室洁净度管控，使用效果优于传统方式，具有较好的实际应用价值和推广价值。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造辅助设备技术领域，特别涉及一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室。

背景技术

风淋室是一种用于药品、蔬菜、生熟食品精加工及精密仪器、电子仪表车间必备的净化设备，通常安装于洁净室与非洁净室之间。当工作人员或货物要进入洁净区时，通过此设备吹出的洁净空气，可除去工作人员或货物所携带的灰尘、头发、发屑等杂物，再经过滤器清除，从而有效地杜绝灰尘、细菌进入洁净区，满足工作场地严格的卫生标准，生产出高质量的产品。

洁净室90％的尘埃颗粒是人或物通过风淋室带入。目前市场上的风淋室大部分只是一个“扬尘功能”，因为风淋室高速吹淋会把人和箱体上的沾尘扬起，加之风淋室内死角比较多，气流是紊流和涡流的状态，很难把尘埃全部带入集尘器或过滤器，当风淋室吹淋完毕之后，实际上有部分尘埃还在风淋室内运动，当打开风淋室出门的时候就会有部分尘埃扩散到洁净室内。所以这种风淋室在使用的时候，如果风淋室不清洁干净，不但对除尘的效果不佳，反而会成为洁净室一大污染源。

发明内容

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室，该风淋室通过正负压之间形成的气流，人或物表面的尘埃颗粒和生物颗粒会随着稳定的气流排除，清洁效果好，扩大清洁范围，除尘更彻底。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种超净实验室双向稳定正负压源风淋室，包括风淋室壳体、风淋室内壁、以及位于风淋室壳体与风淋室内壁之间的过滤系统，所述过滤系统用于净化风淋室内的空气，所述过滤系统包括变速离心风机、真空发生器和过滤器，所述风淋室内壁的一侧安装有风淋口，相应另一侧安装有吸风口，所述变速离心风机的出风管路分两路，一路连接风淋口，另一路连接真空发生器的压缩空气进口，所述真空发生器位于吸风口侧，所述真空发生器的真空口连接吸风口，所述真空发生器的压缩空气出口通过管路将压缩空气输送至过滤器。

在上述技术方案中，优选的，所述变速离心风机和过滤器均位于风淋口侧，所述变速离心风机位于风淋室的底部，所述过滤器位于风淋室的顶部。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述真空发生器压缩空气出口的管路出口正对过滤器且位于过滤器正上方。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述真空发生器压缩空气出口的管路出口与过滤器相连。

在上述技术方案中，优选的，所述真空发生器的压缩空气进口处的管路上设置逆止阀。

在上述技术方案中，优选的，所述风淋口沿风淋室内壁从上至下等间距安装有多个，相应所述吸风口安装有多个，所述吸风口与风淋口同轴设置且一一对应。

在上述技术方案中，进一步优选的，每个所述吸风口处均对应设置一真空发生器。

在上述技术方案中，更进一步优选的，每个所述真空发生器的压缩空气进口处的管路上均设置一逆止阀。

当变速离心风机启动时，风淋口的正压和吸风口的负压之间形成一股相对较强的气流，人或物位于风淋口和吸风口之间风淋时不会形成紊流和涡流，表面的尘埃颗粒和生物颗粒会随着稳定的气流输送至过滤器排除。