[实用新型]多晶硅用坩埚

权利要求书

1.一种多晶硅用坩埚，其特征在于：

包括坩埚本体(1)、位于所述坩埚本体(1)两侧且用于固定所述坩埚本体(1)的固定组件(2)、以及炉体(3)；

所述坩埚本体(1)以及所述固定组件(2)均位于所述炉体(3)内，所述坩埚本体(1)通过所述固定组件(2)与所述炉体(3)连接；

所述固定组件(2)的一端与所述坩埚本体(1)的外侧壁螺纹连接，所述固定组件(2)的另一端与所述炉体(3)的内侧壁可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述固定组件(2)包括两端具有外螺纹且横向设置的螺纹杆(21)、以及卡接件(22)；

所述螺纹杆(21)的一端与所述坩埚本体(1)的外侧壁螺纹连接，所述卡接件(22)套设在所述螺纹杆(21)的另一端且与所述螺纹杆(21)螺纹连接；

所述卡接件(22)具有凸起部(221)，所述凸起部(221)上开设有多个卡接盲孔；

所述卡接件(22)通过所述卡接盲孔与所述炉体(3)的内侧壁上的卡接杆卡接配合。

3.如权利要求2所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述凸起部(221)靠近所述炉体(3)的内侧壁，所述卡接盲孔朝向所述炉体(3)的内侧壁；

所述卡接盲孔沿所述凸起部(221)的长度方向设置，且各所述卡接盲孔的中心线处于同一条直线上。

4.如权利要求2所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述炉体(3)的内侧壁具有沿所述炉体(3)的厚度方向内凹的凹槽(31)；

所述凹槽(31)内固定有与所述卡接盲孔卡接配合的卡接杆；

所述卡接杆包括至少一个第一卡接杆(32)和至少一个第二卡接杆(33)；

所述第一卡接杆(32)与所述第二卡接杆(33)均匀间隔设置。

5.如权利要求4所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述第一卡接杆(32)与所述第二卡接杆(33)均分别设置两个；

两个所述第二卡接杆(33)位于两个所述第一卡接杆(32)之间。

6.如权利要求4所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述第一卡接杆(32)和所述第二卡接杆(33)的长度均小于所述凹槽(31)的深度；

所述第一卡接杆(32)的长度大于所述第二卡接杆(33)的长度。

7.如权利要求1所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述坩埚本体(1)包括呈截面呈方形的底板(11)、位于底板(11)的四周且与底板(11)垂直的四个侧板；

所述底板(11)与各所述侧板均可拆卸连接；

所述侧板包括第一侧板(121)和第二侧板；其中，位于所述底板(11)两端的侧板为第一侧板(121)，位于所述底板(11)两侧的侧板为第二侧板；

所述第一侧板(121)的下端内侧均开设有第一榫(1211)，所述底板(11)的两端分别固定有与所述第一榫(1211)配合的第一卯(111)；

所述第二侧板的下端内侧均开设有第二榫，所述底板(11)的两侧分别固定有与所述第二榫配合的第二卯。

8.如权利要求7所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述第一卯(111)上横向开设有至少一个第一通孔(1111)，所述第二卯上横向开设有至少一个第二通孔；

所述第一侧板(121)且靠近所述第一榫(1211)开设有与所述第一通孔(1111)相贯通的第三通孔(1212)；

所述第二侧板且靠近所述第二榫开设有与所述第二通孔相贯通的第四通孔。

9.如权利要求8所述的多晶硅用坩埚，其特征在于：

所述固定组件(2)的一端分别与所述第一侧板(121)螺纹连接。