[实用新型]一种干法除尘机构

说明书

本实用新型公开了一种干法除尘机构，机台上包括清洁针头除尘装置、清洁药水储备装置和清洁针头储备装置；所述清洁针头除尘装置包括清洁针头装置、X轴移动装置和Y轴移动装置，所述Y轴移动装置通过移动滑块与X轴移动装置连接，清洁针头装置安装在Y轴移动装置的一侧；所述清洁药水储备装置安装在清洁针头装置的下方，所述清洁药水储备装置包括支撑架，所述支撑架的一端设有清洁药水瓶，另一端设有监测装置；所述清洁针头储备装置设置在清洁药水储备装置的一侧，所述清洁针头储备装置包括移动轴和清洁针头储备盒，所述清洁针头储备盒滑动连接在移动轴上。本实用新型干法除尘机构具有结构简单，使用方便，减少水耗，降低污染，清洁度高等优点。

技术领域

本实用新型涉及除尘设备，具体为一种干法除尘机构。

背景技术

随着高科技产品技术发展，高精度产品生产过程中对部件的表面清洁度要求越来越高，如相机摄像头模组的滤光片和感光芯片的装配、半导体产品制备等，常规生产过程中并没有对相关部件进行清洁检测和清洁，直接用于制备容易导致部件表面粘附的细微颗粒和灰尘直接影响产品的质量和使用效果。例如半导体芯片及光学部件表面质量要求越来越严格，主要是表面的粉尘颗粒与杂质污染会严重影响产品的质量和成品率，目前的集成电路生产中，由于产品表面污染的问题导致约50%以上的材料损失，因此促进人们对硅片清洗工艺的研究。

目前已有的清洗工艺有湿法化学清洗、超声清洗等。其中，湿法化学清洗技术处于主导地位。但湿法化学清洗耗费大量水资源，容易造成环境污染问题，且清洁效果差。

发明内容

本实用新型提供了一种结构简单，使用方便，减少水耗，降低污染，清洁度高的干法除尘机构。

本实用新型可以通过以下技术方案来实现：

一种干法除尘机构，机台上包括清洁针头除尘装置、清洁药水储备装置和清洁针头储备装置；

所述清洁针头除尘装置包括清洁针头装置、X轴移动装置和Y轴移动装置，所述Y轴移动装置通过移动滑块与X轴移动装置连接，所述清洁针头装置安装在Y轴移动装置的一侧，所述清洁针头装置的下方设有清洁针头；以X轴移动装置和Y轴移动装置分别控制清洁针头装置平移和升降，使清洁针头装置可根据待清洁产品位置灵活移动；

所述清洁药水储备装置安装在清洁针头装置的下方，所述清洁药水储备装置包括支撑架，所述支撑架的一端设有清洁药水瓶，所述清洁药水瓶设置在清洁针头装置的正下方，所述支撑架的另一端设有监测装置；清洁药水瓶内储存清洁药水，以便清洁针头蘸取清洁药水，并通过设置监测装置监控清洁药水瓶内的药水量，并根据清洁针头的清洁度判断是否更换清洁针头；

所述清洁针头储备装置设置在清洁药水储备装置的一侧，所述清洁针头储备装置包括移动轴和清洁针头储备盒，所述清洁针头储备盒滑动连接在移动轴上。以清洁针头储备盒储备已蘸取清洁药水或未蘸取清洁药水的清洁针头，方便在清洁过程中根据清洁针头的洁净度更换清洁针头，清洁针头储备盒可沿移动轴移动调整清洁针头存放的位置。

本实用新型使用时以Y轴移动装置控制清洁针头装置下降使清洁针头伸入清洁药水瓶内蘸取清洁药水后复位，以X轴移动装置控制清洁针头装置移动至清洁针头储备装置的上方，通过Y轴移动装置控制清洁针头装置下降将清洁针头放入清洁针头储备盒内自然干燥硬化，再从清洁针头储备盒内取未蘸清洁药水的清洁针头并重复上述步骤，监测装置检测清洁药水瓶内药水的高度，当清洁药水液面高度低于最低液面高度则发出警示提醒补给。当对待清洁产品进行清洁时，清洁针头装置移动至清洁针头储备盒换上已蘸取清洁药水的清洁针头，复位通过监测装置监测清洁针头的直径大小判断清洁药水是否已干燥硬化达到使用要求，符合要求则进行下一步清洁，若不符合要求则重新更换清洁针头。本实用新型整体结构设置简单，通过X轴移动装置和Y轴移动装置实现清洁针头装置的灵活移位对待清洁样品进行清洁和清洁针头更换，以清洁针头蘸取清洁药水后具有一定的硬度和粘性对待清洁产品表面的灰尘进行黏附清洁，清洁度高，且无需清洁剂和大量水清洗，减少水耗和环境污染。