[实用新型]一种量子芯片检测装置

说明书

本实用新型公开了一种量子芯片检测装置，属于检测设备领域，包括探针卡槽盒、探针装置和检测装置，探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器，底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；盖板可拆卸盖在底板上开有卡槽的表面，盖板上与底板上的各卡槽相对位置处开有通孔；各连接器分别可拆卸安装在盖板上的各通孔内，连接器一端设有探针接头，另一端设有一对接触针；探针装置包括探针座、探针和探针移动装置，探针固定在探针移动装置上，并在探针移动装置的带动下移动至探针卡槽盒的上方与探针接头连接；检测装置与探针电连接；本实用新型能够避免采用移动探针与量子芯片表面极板直接接触的方式对量子芯片进行检测，对量子芯片的检测更加安全、稳定。

技术领域

本实用新型属于检测设备领域，特别是一种量子芯片检测装置。

背景技术

量子芯片是量子计算机的基本构成单元，是以量子态的叠加效应为原理，以量子比特为信息处理的载体的处理器，量子芯片主要包含超导量子芯片、半导体量子芯片、量子点芯片、离子阱及NV(金刚石)色心等。

在之前申请的专利中提供了一种量子芯片测试装置，包括量子芯片放置台、探针装置和检测装置；述量子芯片放置台表面开有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述探针装置包括用于安装所述量子芯片放置台的探针座、至少一对探针和探针移动装置，所述探针固定在所述探针移动装置上，并在所述探针移动装置的带动下移动至所述卡槽的上方并与放置在所述卡槽内的量子芯片接触；所述检测装置与所述探针电连接；其通过移动探针使得探针直接与量子芯片的极板接触的方式进行检测。

现有技术的问题在于，通过移动探针直接与量子芯片的极板接触，由于所述探针的触头较小，与量子芯片极板的接触位置比较细微，与量子芯片表面接触不够稳定，并且探针与量子芯片表面的接触压力不好控制，如果压力过大可能会对量子芯片造成结构损坏，同时，裸露的量子芯片容易受到外界环境的干扰。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种量子芯片检测装置，以解决现有技术中的不足，它能够避免采用移动探针与量子芯片表面极板直接接触的方式对量子芯片进行检测，对量子芯片的检测更加安全、稳定。

一种量子芯片检测装置，包括探针卡槽盒、探针装置和检测装置；

所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器，所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽；所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面，所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔；各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内，所述连接器远离底板的一端设有探针接头，靠近底板的一端设有一对接触针，各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后，分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连；

所述探针装置包括用于安装所述探针卡槽盒的探针座、探针和探针移动装置，所述探针固定在所述探针移动装置上，并在所述探针移动装置的带动下移动至所述探针卡槽盒的上方与所述探针接头连接；

所述检测装置与所述探针电连接。

进一步的，各所述卡槽为矩形沉槽。

进一步的，所述底板上的各所述卡槽以若干行若干列的形式均匀设置在所述底板的表面，其中：每一行中两相邻所述卡槽间的距离相等，每一列中两相邻所述卡槽间的距离相等。

进一步的，各所述卡槽均相对于每一行所述卡槽或者每一列所述卡槽的排列方向倾斜设置。

进一步的，所述探针装置还包括自动进给装置，所述自动进给装置包括驱动装置、第一方向移动装置和第二方向移动装置，所述驱动装置驱动所述第一方向移动装置沿第一方向移动，所述驱动装置驱动所述第二方向移动装置沿第二方向移动，其中：所述第一方向和所述第二方向均为与所述探针卡槽盒的所述底板表面平行的水平方向；