[实用新型]高效率通行的无尘风淋室有效
申请号: | 201920557474.4 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN210411772U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 王荣刚;成玉磊 | 申请(专利权)人: | 苏州天华超净科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B13/00 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 蒋慧妮 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高效率 通行 无尘风淋室 | ||
本实用新型提供了一种高效率通行的无尘风淋室,包括风淋室本体,所述风淋室本体的进、出口位置均设置有静电消除器,所述风淋室本体的底部设置有鞋底清洗装置,所述风淋室本体前方设置有静电测试机构。本实用新型的有益效果体现在:将人员识别及静电测试装置、鞋底清洗装置集于一体,大大的节省了空间;在人员进入风淋室内部时,可同时进行鞋底的清洁,大大节省了时间,提高了通行效率。
技术领域
本实用新型属于静电防污安全技术领域,尤其涉及一种高效率通行的无尘风淋室。
背景技术
当前,以液晶、硬盘存储、半导体等先进制程为代表的电子工业,都需要建立不同对应等级的洁净室(无尘室)来满足生产环境的洁净要求。而维持洁净室洁净度的基础最好是“不带入”和“不产生”,并且静电与无尘室中的particle颗粒也会有相互作用。当前实现人员不带入,主要依赖风淋室通道,风淋室通道主要通过侧壁口对进入通道内的人员吹洁净风,将人员服装上的particle颗粒吹落到空气中,并从下部抽风将污染空气排掉。这样对于人员管控有一定的帮助,但是存在两个问题:第一,灰尘悬浮到空气中在抽掉的过程中,仍然会有一部分吸附在墙面或者地板上,造成风淋室环境污染,比如3人同时进入风淋室,一人衣服上比较脏,可能会污染其他两人;为解决这个问题,很多会在墙壁和地板上贴附粘尘垫吸收悬浮空气中的灰尘,但这样的操作,容易带来静电高发,也会带来新的问题。第二,现在电子工业上空间一般都很紧凑,除了风淋室管控进入人员的洁净问题外,还有对进入人员进行信息识别、内部工作时间统计、静电管控等项目的需求,每个项目都需要占用很多空间,并且各个系统之间不兼容,并不能从系统的角度来管理好静电与微污染。现有的风淋室结构如图1所示,一般鞋底清洁装置1布置在风淋室2最前面,而后通过人员识别及静电测试单元3,最终进入风淋室2。但由于人员识别及静电测试单元3一般采用桥式或立式闸机的形式,从而于需要占用很大的空间,并且在风淋室等待的时间和鞋底清洁装置的等待时间没办法公用,完成整个通行过程的相对时间也会更长,造成通行效率低下。
实用新型内容
为了解决现有技术的不足,本实用新型提供了一种高效率通行的无尘风淋室。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
一种高效率通行的无尘风淋室,包括风淋室本体,所述风淋室本体的进、出口位置均设置有静电消除器,所述风淋室本体的底部设置有鞋底清洗装置,所述风淋室本体前方设置有静电测试机构。
优选地,所述风淋室本体的进口处还设置有用于限制人员随意进入的人员阻挡装置。
优选地,所述人员阻挡装置由两块阻挡板构成,每块所述阻挡板的一端与所述风淋室本体的侧壁枢轴连接,通过向风淋室本体内侧开合运动进行对风淋室人员的阻挡或放行。
优选地,所述人员阻挡装置由一块阻挡板形成,所述阻挡板的两端与所述风淋室本体的两侧为滑轨式连接,阻挡板上下运动实现对风淋室人员的阻挡或放行。
优选地,所述静电消除器设置于所述风淋室本体的进出口上方。
优选地,所述静电测试机构设置于所述风淋室进口位置的静电消除器的正下方,所述静电测试机构为静电测试站板。
优选地,所述风淋室本体上还设置有人员识别及静电测试单元。
本实用新型的有益效果体现在:将人员识别及静电测试装置、鞋底清洗装置集于一体,大大的节省了空间;在人员进入风淋室内部时,可同时进行鞋底的清洁,大大节省了时间,提高了通行效率。
附图说明
图1:现有技术中风淋设备结构原理图。
图2:本实用新型的结构原理示意图。
图3:本实用新型另一角度结构示意图。
具体实施方式
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