[实用新型]一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置

说明书

本实用新型揭示一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱和退火炉炉台，所述清洁箱内腔的右侧设置有水箱和烘烤鼓风箱，所述清洁箱内腔的左侧设置有吸尘箱，所述水箱和烘烤鼓风箱右侧靠近底部的位置均固定连接有水管，两个所述水管和吸尘管的一端均固定连接有对接环，所述对接环的内腔分别固定连接有冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆，所述冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆的底部分别设置有清洁刷、吹风口和吸尘器吸口且均通过铰链连接；本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，通过转杆和固定插杆等结构，可以使对退火炉炉台进行清洁时更加方便快捷，使其可以快速的将退火炉炉台进行吸尘，解决了传统清洁方式效率较慢的问题。

技术领域

本实用新型涉及退火炉炉台清扫装置技术领域，具体涉及一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，包括加热多个半导体晶片。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

目前大部分退火炉在使用时都是放置在退火炉炉台上，利用退火炉炉台进行散热，但由于退火炉炉台是暴露在外界的，因此其表面会附着大量的灰尘，当灰尘推挤较多时会对退火炉炉台的散热性能起到影响，从而需要对退火炉炉台进行清扫，保持其表面的洁净；但目前对于退火炉炉台的清洁大部分只是利用人工清洁，效率低下且费时费力，并且在用水进行刷洗后大多是任其风干，拖慢了生产的进程。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱和退火炉炉台，所述清洁箱内腔的右侧设置有水箱和烘烤鼓风箱，所述清洁箱左右两侧靠近顶部的位置均固定连接有卡接环，所述清洁箱内腔的左侧设置有吸尘箱，所述水箱和烘烤鼓风箱右侧靠近底部的位置均固定连接有水管，两个所述水管和吸尘管的一端均固定连接有对接环，所述对接环的内腔分别固定连接有冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆，所述冲刷杆烘烤杆和吸尘杆的底部分别设置有清洁刷、吹风口和吸尘器吸口且均通过铰链连接，所述清洁刷、吹风口和吸尘器吸口的正面和背面均开设有卡接槽，所述卡接槽内活动插接有固定插杆，所述固定插杆的左侧一体成型有导向架，所述导向架的顶部设置有推杆，所述推杆的外表面活动套接有夹环，所述推杆通过球形关节与导向架活动连接，所述导向架内侧的左侧固定连接有直导轮，所述导向架内侧的底部设置有万向导轮，所述万向导轮的顶部固定连接有调节块，所述调节块的顶部开设有调节孔，所述调节孔内插接有固定插杆，所述调节块的中央贯穿连接有转杆。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中导向架外侧的右侧开设有调节槽，所述调节槽的侧视图形为半圆环状且开口处与调节块上调节孔的运动轨迹相对应。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中固定插杆和转杆的左侧均开设有与之对应的固定槽，所述固定槽有两个且均与调节孔转动后的位置相对应。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中吸尘箱和烘烤鼓风箱内分别设置有吸尘器和热鼓风机。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁箱的顶部固定连接有推拉杆，所述推拉杆的底部固定连接有箱盖，所述推拉杆的右侧设置有注水口，所述注水口贯穿箱盖且与水箱连通，所述清洁箱底部的四角处均固定连接有滚轮。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中吸尘管和水管的转角处均设置有波纹管，所述吸尘管和两根水管分别与吸尘杆、烘烤杆和冲刷杆内部的内管密封对接。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁刷、吹风口和吸尘器吸口左右两侧的卡接槽均与卡接杆相适配。

本实用新型的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁刷的底部沿水平等距离开设有三个出水口，所述出水口上开设有多个细密的小孔。