[实用新型]玻璃基板的清洗装置

说明书

即使在使辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。玻璃基板的清洗装置一边沿着输送方向输送玻璃基板，一边对其进行清洗，所述玻璃基板的清洗装置具备：输送部，其具有多根辊，多根辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板；上侧辊刷，其用于清洗所述玻璃基板的上表面；下侧辊刷，其用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及两端保持部即夹送辊，其配置在所述上侧辊刷的输送方向上的上游侧及下游侧，用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。所述上侧辊刷及所述下侧辊刷向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板的清洗装置的技术。

背景技术

一般情况下，在制造液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板时，在制造过程中，进行为了将附着于玻璃基板的表面(具体而言，玻璃面中的形成有电子功能元件等的有效面)的微小的玻璃片、灰尘等异物除去的清洗处理。由此，玻璃基板的表面被净化，在后续工序等中能够在玻璃基板的表面上精度良好地形成电子功能元件等。

例如，专利文献1公开有用于清洗玻璃板的上表面及下表面的玻璃板的清洗装置。

专利文献1公开的玻璃板的清洗装置具备：通过旋转驱动而将玻璃板在水平方向上输送的多根辊；通过旋转而清洗下表面的下侧辊刷；以及通过旋转而清洗上表面的上侧辊刷。

在由这样的玻璃板的清洗装置执行的清洗工序中，在由辊刷清洗玻璃板时，为了增加作用于玻璃板的摩擦力，一般情况下，使辊刷的旋转方向相对于玻璃板的行进方向(输送方向)进行反向旋转。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-89546号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

然而，在由上述的玻璃板的清洗装置使辊刷向与玻璃板的行进方向相反的方向旋转的情况下，在玻璃板上产生挠曲等变形，玻璃板有可能破损。即使在玻璃板不至于破损的情况下，玻璃板的行进速度也有时因上述的挠曲等变形而变慢，有时在多个玻璃板的输送时，在玻璃板之间的输送间隔产生差异。

因此，寻求即使在使辊刷向与玻璃的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。

本实用新型是鉴于以上所示的现状的问题点而完成的，其课题在于提供即使在使辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，也能够抑制玻璃基板的挠曲等变形的玻璃基板的清洗装置。

用于解决课题的方案

本实用新型要解决的课题如以上那样，接着对其用于解决课题的手段进行说明。

即，一种本实用新型的玻璃基板的清洗装置，其一边沿着输送方向输送玻璃基板一边对该玻璃基板进行清洗，其特征在于，所述玻璃基板的清洗装置具备：输送部，其具有多根输送辊，多根所述输送辊通过被驱动旋转而在水平方向上输送所述玻璃基板；上侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的上表面；下侧辊刷，其向与所述玻璃基板的输送方向相反的方向旋转，用于清洗所述玻璃基板的下表面；以及两端保持部，其配置在所述上侧辊刷的输送方向的上游侧及下游侧，用于将所述玻璃基板的上表面侧的宽度方向两端部向下方按压。

根据由这样的结构构成的玻璃基板的清洗装置，即使在使上侧辊刷及下侧辊刷向与玻璃基板的输送方向相反的方向旋转的情况下，由于向下方按压由两端保持部保持的玻璃基板的上表面，因此能够抑制玻璃基板的挠曲等变形而保持良好的清洗能力。

另外，在本实用新型的玻璃基板的清洗装置中，优选的是，所述两端保持部是与所述输送辊一起夹着所述玻璃基板的夹送辊。