[实用新型]多功能复合式真空阀门及使用该真空阀门的真空设备

权利要求书

1.多功能复合式真空阀门，其特征在于：包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

2.根据权利要求1所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

3.根据权利要求2所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

5.根据权利要求4所述的多功能复合式真空阀门，其特征在于：所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。

6.真空设备，其特征在于：包括真空阀门和与真空阀门连接的真空传动器、高真空抽气泵、低真空抽气泵以及充气设备，所述真空阀门包括中空主体，主体的一端连接有用于与真空管密封安装的密封法兰，主体上设置有和主体的空腔连通的低真空抽气口、高真空抽气口、真空传动器连接口和充气口，低真空抽气口处设置有第一开关，充气口处设置有第二开关，高真空抽气口处设置有能够启闭高真空抽气口的高真空密封结构。

7.根据权利要求6所述的真空设备，其特征在于：所述主体为T形结构，主体包括第一筒体和第二筒体，第二筒体的一端连接于第一筒体上，密封法兰设置于第二筒体的另一端上，第一筒体的一端形成所述高真空抽气口，第一筒体的另一端设有密封堵头，高真空密封结构包括沿第一筒体的轴线方向导向移动且密封安装于密封堵头上的传动轴，传动轴朝向高真空抽气口的端部连接有密封板，传动轴的另一端伸出第一筒体并传动连接有驱动缸。

8.根据权利要求7所述的真空设备，其特征在于：所述密封板通过连接轴连接于传动轴上，连接轴与传动轴之间设置有轴—孔螺纹连接结构。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的真空设备，其特征在于：所述主体上还设置有冷却装置，冷却装置包括设置于主体上的冷却水进水口和冷却水出水口以及连接冷却水进水口与冷却水出水口的向外伸出密封法兰的冷却水管，冷却水管上设置有使用时位于真空管中的冷却盘，冷却盘具有与冷却水管连通的环形水道，冷却盘具有供真空传动器的传动轴穿过的冷却盘穿孔。

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于：所述冷却水管包括平行设置的进水管和出水管，进水管和出水管之间设置有固定支撑板，固定支撑板上设置有与冷却盘穿孔对应的供供真空传动器的传动轴穿过的通孔。