[实用新型]真空腔体连接管道

说明书

本实用新型公开了一种真空腔体连接管道，包括由弹性橡胶制成的管道体以及位于管道体两端的管道连接法兰，管道体固定连接在管道连接法兰上，管道体上套设管径调节机构。本实用新型通过对真空腔体连接管道进行技术改造，由于本管道可调且调整简单操作便捷，由于连接管道的流量直接影响分子泵的抽速，这样能够更好地根据被测的真空腔体的容积大小进行匹配数据，调节管道的大小以达到最适宜的流量速度。

技术领域

本实用新型涉及一种真空腔体连接管道。

背景技术

随着科技的发展，真空技术应用的领域越来越广。半导体、电子、医疗、食品等行业都离不开真空技术，其中尤以高真空蒸发设备的应用最为广泛。高真空蒸发设备在使用过程中比较常见的问题是真空漏率随着使用时间延长而逐渐升高，这其中有一些是人为非常规操作导致的，但更多的是设备老化、零部件缺乏保养所引起的故障。如何在真空设备中找出真空组件存在的漏孔，并采取相应措施，使每台真空设备的漏率达到技术要求，是摆在真空检漏技术人员面前的迫切任务。

真空检漏就是用适当的方法，迅速判断漏气、确定漏率是否在容许的范围之内，找出漏孔的位置、测定漏率大小，以便进行修补。本行业普通使用质谱检漏技术，该技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备因其气密性的要求，造成其真空腔体开合步骤繁琐，且不便于待测箱体的放入与取出。现有技术的真空腔体难以同时满足气密性和开合的快捷性要求，造成现有技术的质谱检漏设备无法适应流水线作业要求，制约了生产效率的提高，显然不适宜现代化工业的发展。

由于腔体的真空检漏是在设备组装前对腔体真空度的一次必要的检查，检查腔体的真空度符合设备的使用环境并达到产品的工作条件，因为大型腔体抽真空耗费时间长，在批量较大时，往往会成为一道工序的瓶颈，从而影响交货时间，特别是在出现泄漏问题时，反复装配盲板治具来检验真空度，抽速的大小直接影响效率。连接管道的流量直接影响分子泵的抽速，选择真空机组需要根据被测的真空腔体的容积大小进行匹配数据，否则就会造成设备的损坏或者效率低下；目前的方法是：在现有分子泵抽速和功率范围内，计算管道的流量值，将原有的连接管路进行更换，反复试验，得出最佳匹配值，这样需要多次尝试，效率太低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种真空腔体连接管道，通过对真空腔体连接管道进行技术改造，能够更好地根据被测的真空腔体的容积大小进行匹配数据，调节管道的大小以达到最适宜的流量速度。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种真空腔体连接管道，包括由弹性橡胶制成的管道体以及位于管道体两端的管道连接法兰，管道体固定连接在管道连接法兰上，管道体上套设管径调节机构。管道体由弹性橡胶制成，这样便于调整管道的直径，可以在实现真空泵或分子泵与真空镀膜设备连接后再调整管道直径以调整流量，提高抽真空的效率，实现最佳的管道连接方案。

进一步的技术方案是，管道体与管道连接法兰固定粘接或焊接；所述管径调节机构包括套设在管道体外的张紧环。

进一步的技术方案是，张紧环为由塑料材质制成的条带，条带的一端设置弹性夹，弹性夹的一端固定在条带上，另一端卡设在条带上。条带采用硬塑料制成。弹性夹夹设在条带上时弹性件与条带之间有间隙，间隙空间的大小小于条带的尺寸，这样在调整时稍微掰开弹性夹夹设在条带的一端然后拉动穿过前述间隙的条带直至管道体缩小至所需的尺寸、达到所要的流量时再松开，这样即可调整后夹紧。这样的设置在需要调整管道直径时则稍微掰开弹性夹夹设在条带的一端然后拉动穿过前述间隙的条带直至管道体缩小至所需的尺寸、达到所要的流量时再松开，这样即可调整后夹紧，调整简单便捷且能够根据实时反馈的信息(主要是真空计电阻规仪表数值)知道目前的流量是否合适。