[实用新型]靶

说明书

本实用新型提出了一种靶，包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动，所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。

技术领域

本实用新型涉及一种靶。

背景技术

靶可以理解为，表示阴极溅射系统中被溅射的材料。过去所使用的大部分溅射靶是构造为呈圆形的或呈矩形的所谓的平面靶。然而平面靶具有如下缺点：构成该平面靶的材料的仅约30％到40％得到有效溅射，其有效利用率低，使用寿命短。

实用新型内容

针对背景技术中指出的问题，本实用新型提出一种靶，该整体为管形，并能进行转动和移动，且其内部配置有冷却结构，提高了靶的利用率，延长了其使用寿命。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种靶，包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。

本实用新型还进一步设置为，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱固定连接，安装柱上连接有驱动其转动的驱动装置一。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱形成可转动连接，还包括一驱动承载体转动的驱动机构。

本实用新型还进一步设置为，所述的驱动机构包括齿轮一、齿轮二、驱动装置二，所述的齿轮一与承载体同轴且联动设置，齿轮二与齿轮一啮合，驱动装置二与齿轮二连接用于驱动齿轮二转动。

本实用新型还进一步设置为，所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱固定连接，安装柱上连接有牵引其沿其轴线方向移动的牵引机构一。

本实用新型还进一步设置为，所述的承载体与安装柱在安装柱轴线方向形成滑动连接，还包括牵引机构二，牵引机构二与承载体连接用于牵引承载体在安装柱上滑动。

一种靶，包括管形的靶体和安装柱，靶体套设在安装柱上，所述的靶体可绕其中心轴线进行转动，所述的靶体可沿其中心轴线方向进行移动。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的靶，其结构为管形，使用时通过对管形靶进行自转和上下移动的调节，使靶的表面能获得更均匀的蚀刻效果，且通过调节靶体的位置蚀刻区域基本能覆盖整个靶的表面，并在承载体上配置冷却结构，使蚀刻时产生的热量能得到快读的冷却，提高了靶材的利用率，延长了其使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型的结构示意图；

图4为本实用新型的结构示意图；

图5为本实用新型的结构示意图；

图6为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式