[实用新型]阴极和等离子体发生器

权利要求书

1.一种阴极，其特征在于，包括：

至少一个工作管段，其中，所述工作管段为等离子体发生器运行时电弧弧根所在区域；以及

至少一个与所述工作管段连接的连接管段；

其中，所述工作管段与所述连接管段的材质不同。

2.根据权利要求1所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段采用可拆卸连接方式。

3.根据权利要求2所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段之间设置密封圈。

4.根据权利要求2所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段采用螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段采用焊接和过盈配合连接中的至少一种连接方式。

6.根据权利要求5所述的阴极，其特征在于，

所述阴极包括至少两个工作管段。

7.根据权利要求1-6任一所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段轴向交替设置；或

所述工作管段嵌设在所述连接管段的内侧臂上。

8.根据权利要求1-6任一所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段同轴设置。

9.根据权利要求8所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段之间设置有径向定位结构。

10.根据权利要求9所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段与所述连接管段之间采用环状台阶结构配合。

11.根据权利要求1-6任一所述的阴极，其特征在于，所述工作管段与所述连接管段的材质满足以下至少一项：

所述工作管段材质的熔点大于所述连接管段材质的熔点；

所述工作管段材质的抗氧化性大于所述连接管段材质的抗氧化性；

所述工作管段材质的电子逸出功率低于所述连接管段材质的电子逸出功率。

12.根据权利要求11所述的阴极，其特征在于，

所述工作管段的材质包括银、银铜合金和/或锆；

所述连接管段的材质包括紫铜。

13.一种等离子体发生器，其特征在于，包括权利要求1-12任一所述的阴极。