[实用新型]阻挡放电灯、紫外线照射单元及紫外线照射装置

说明书

本实用新型为阻挡放电灯、紫外线照射单元及紫外线照射装置，其抑制由反射膜的磨损或剥离所引起的不良情况。阻挡放电灯包括圆筒状的发光管、内部电极及反射膜。发光管封入气体，使紫外光透过。内部电极配置在发光管内部，螺旋状导体在发光管的长度方向上延伸。反射膜设置在发光管的内表面，使紫外光朝发光管的内部反射。发光管在与反射膜不同的部分上具有限制内部电极的移动的多个凹部。凹部的直径d mm与内部电极的线径D mm具有d≦10D的关系。

技术领域

本实用新型的实施方式涉及一种阻挡放电灯(barrier discharge lamp)、紫外线照射单元及紫外线照射装置。

背景技术

之前，已知有以基板的清洗或改质为目的来使用的阻挡放电灯。阻挡放电灯利用通过将已被配置在作为电介质的发光管的内部的螺旋状的内部电极与已被配置在发光管的外部的外部电极连接在交流电源上所产生的电介质阻挡放电，放射具有与已被收容在发光管的内部的气体对应的特定的波长的紫外光。已被放射的紫外光由已被设置在发光管的内表面上的反射膜以照射规定的部位的方式反射。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-211164号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

在如上所述的阻挡放电灯中，存在例如因内部电极的位置偏离而导致反射膜磨损或剥离，被放射的紫外光的照度下降的情况。

本实用新型欲解决的课题在于提供一种可抑制由反射膜的磨损或剥离所引起的不良情况的阻挡放电灯、紫外线照射单元及紫外线照射装置。

[解决问题的技术手段]

根据一实施方式，本实用新型提供一种阻挡放电灯，其包括：圆筒状的发光管、内部电极、及反射膜。阻挡放电灯在设置在发光管的内部的内部电极与设置在发光管的附近的外部电极之间进行阻挡放电。发光管封入有气体，并使紫外光透过。内部电极配置在发光管的内部，螺旋状的导体在发光管的长度方向上延伸。反射膜设置在发光管的内表面上，使紫外光朝发光管的内部反射。发光管在与反射膜不同的部分上具有限制内部电极的移动的多个凹部。凹部的直径d mm与内部电极的线径D mm具有d≦10D的关系。外部电极设置在与设置有反射膜的内表面对应的发光管的外表面侧。

根据一实施方式，在所述阻挡放电灯，所述凹部的内表面朝所述发光管的内侧突出而抵接在所述内部电极上。

根据一实施方式，在所述阻挡放电灯，所述直径d mm与所述管轴方向的所述内部电极的间距P mm具有d≦P的关系。

根据一实施方式，在所述阻挡放电灯，所述外部电极是铝制或不锈钢制的散热块，其设置在与设置有所述反射膜的所述内表面对应的所述发光管的外表面侧。

根据一实施方式，在所述阻挡放电灯，所述反射膜的所述发光管的圆周方向的角度θ1为180°以上。

根据一实施方式，所述反射膜的发光管的圆周方向的角度θ1为200°～ 250°。

根据一实施方式，所述外部电极的圆周方向的角度θ2为180°～330°的范围。

根据一实施方式，本实用新型还提供一种紫外线照射单元，其包括上述的阻挡放电灯；以及所述外部电极。

根据一实施方式，本实用新型还提供一种紫外线照射装置，其包括上所述的紫外线照射单元；以及收容部，收容所述紫外线照射单元。