[实用新型]高精密多传感大空间恒温系统

说明书

本实用新型提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷空气与环境空气进行混合的混合腔。

技术领域

本实用新型涉及温控领域，具体涉及一种高精密多传感大空间恒温系统。

背景技术

对于超精密加工或半导体行业，尤其对于高精度、长时间加工的半成品，一定要控制温度的恒定。基于以往的超精密加工经验加工高度5um左右的微结构，如果温度不能保持恒温，就会出现热变形造成超差报废。因此，传统的空调单传感器冷却或者超净室的温控方案均不能很好的解决此类问题。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，具有提高温度稳定性的效果。

本实用新型提供了一种高精密多传感大空间恒温系统，包括：至少一个风冷机组件、至少一个送风管道、环形风淋管道、机架、密封层；所述密封层包裹在所述机架上以在该机架上形成一冷却空间，所述环形风淋管道设置于所述机架上并位于所述冷却空间内；所述每一所述风冷机组件通过一所述送风管道与所述环形风淋管道连通；所述环形风淋管道的管壁上设置有多个冷风孔，用于向所述冷却空间的底部方向提供均匀冷风；

所述风冷机组件包括用于产生冷空气的风冷机主体以及用于将冷空气与环境空气进行混合的混合腔；所述混合腔设置于所述风冷机主体上并通过第一开口与所述风冷机主体连通，该第一开口处设置有用于将该风冷机主体产生的冷空气吸入该混合腔中的第一风扇；所述混合腔上设置有用于供外部空气进入的第二开口以及用于将混合空气排给所述送风管道的第三开口，该第二开口处设置有用于吸入外部空气的第二风扇，该第三开口处设置有用于将混合空气排出到该送风管道的第三风扇。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述风冷机组件还包括主控模组，所述主控模组与所述第一风扇、所述第二风扇、所述第三风扇以及所述风冷机主体通信连接。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述第二开口处设置有用于调节该第二开口的开度的开度调节器，所述开度调节器与所述主控模组通信连接。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述混合腔中设置有用于检测混合腔内温度的第四温度传感器；

所述主控模组用于根据所述第四温度传感器检测到的温度信息控制所述开度调节器的开度。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述混合腔内还设置有第一调节风扇，该第一调节风扇与该主控模组通信连接，该第一调节风扇的出风方向与所述第二风扇的出风方向垂直并朝向所述第一开口，所述第一调节风扇用于将第一风扇吸入的冷风以及第二风扇吸入的外部空气进行混合。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述混合腔内还设置有与主控模组通信连接的第二调节风扇，所述第二调节风扇临近开第一开口设置并与该第二开口相对，用于与该第二风扇形成对流。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述第二开口处设置有用于检测外部空气温度的第二温度传感器，所述第二温度传感器与所述主控模组通信连接。

在本实用新型所述的高精密多传感大空间恒温系统中，所述第三开口处设置有用于检测混合腔的出风温度的第三温度传感器；所述第三温度传感器与所述主控模组通信连接。