[实用新型]真空密封结构

权利要求书

1.真空密封结构，其特征在于，包括矩形开口舱体(1)，所述舱体(1)安装有与之相匹配的舱门(2)，所述舱体(1)靠近舱门(2)的一侧设置有凹槽b(5)，所述凹槽b(5)设置有接口b(10)，所述接口b(10)通过密封管b(7)连接有真空泵(3)。

2.如权利要求1所述的真空密封结构，其特征在于，所述舱门(2)靠近舱体(1)的一侧设置有凹槽a(4)，所述凹槽a(4)设置有接口a(9)，所述接口a(9)通过密封管a(6)连接有真空泵(3)。

3.如权利要求2所述的真空密封结构，其特征在于，设置凹槽b(5)的所述舱体(1)的侧面安装有密封垫(8)，设置凹槽a(4)的所述舱门(2)的侧面也安装有密封垫(8)。

4.如权利要求2所述的真空密封结构，其特征在于，所述凹槽a(4)与凹槽b(5)对应设置。

5.如权利要求2所述的真空密封结构，其特征在于，所述密封管a(6)与密封管b(7)的结构相同。

6.如权利要求4所述的真空密封结构，其特征在于，所述凹槽a(4)与凹槽b(5)为矩形凹槽或者蛇形凹槽。