[实用新型]一种激光喷砂装置有效

专利信息
申请号: 201920291119.7 申请日: 2019-03-07
公开(公告)号: CN209664582U 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 卢建栋;张扬 申请(专利权)人: 东曹(上海)电子材料有限公司
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352;B23K26/08;B23K26/70
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201600 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 激光 喷砂组件 竖直支架 水平支架 本实用新型 激光发射器 喷砂装置 工件台 喷砂 表面处理设备 横向驱动组件 升降驱动组件 水平驱动组件 纵向驱动组件 工作效率高 水平架设 覆盖
【说明书】:

实用新型公开了一种激光喷砂装置,涉及表面处理设备技术领域,包括机架及水平架设于机架上的工件台,机架上围绕工件台还分别设置有第一激光喷砂组件以及第二激光喷砂组件;第一激光喷砂组件包括第一竖直支架、第一水平支架以及第一激光发射器,第一竖直支架上设有升降驱动组件,第一水平支架上设有水平驱动组件;第二激光喷砂组件包括第二竖直支架、第二水平支架以及第二激光发射器,第二竖直支架上设有横向驱动组件,第二水平支架上设有纵向驱动组件。本实用新型提供了操作简单,工作效率高,喷砂效果好,喷砂覆盖范围全面的一种激光喷砂装置。

技术领域

本实用新型涉及表面处理设备技术领域,具体地说,它涉及一种激光喷砂装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固定表面院子发生动能交换,使固体表面的院子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

如图1所示,图中提供了一种溅射靶材1,其包括铜层101和钼层102两层材料;在加工时,厂家需要在该溅射靶材1上多个表面进行喷砂处理。在实际操作时,溅射靶材1的喷砂作业通常采用喷砂机完成,由于该溅射靶材1上存在多个需要喷砂处理的表面,故工作人员只能依次完成各个面的喷砂作业,不仅操作繁琐,效率较低,而且加工质量也相对较低。

实用新型内容

针对上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种激光喷砂装置,采用激光喷砂的方式对工件多个表面进行同步喷砂作业,简化操作,提高效率,保证工件喷砂处理效果。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

一种激光喷砂装置,包括机架及水平架设于机架上的工件台,所述机架上围绕工件台还分别设置有用于对工件侧壁进行喷砂的第一激光喷砂组件以及用于对工件顶部进行喷砂的第二激光喷砂组件,所述第一激光喷砂组件在工件台相对的两侧各设有一组;

所述第一激光喷砂组件包括竖直固定于机架上的第一竖直支架、竖直滑移设置于第一竖直支架上的第一水平支架以及水平滑移设置于第一水平支架上的第一激光发射器,所述第一竖直支架上设有用于驱动第一水平支架竖直升降的升降驱动组件,所述第一水平支架上设有用于驱动第一激光发射器水平滑移的水平驱动组件;

所述第二激光喷砂组件包括竖直固定于机架上的第二竖直支架、沿机架宽度方向水平滑移设置于第二竖直支架上侧的第二水平支架以及沿机架长度方向水平滑移设置于第二水平支架上的第二激光发射器,所述第二竖直支架上设有用于驱动第二水平支架水平滑移的横向驱动组件,所述第二水平支架上设有用于驱动第二激光发射器水平滑移的纵向驱动组件。

通过采用上述技术方案,在实际工作中,当工作人员将工件放上工件台并完成工件定位后,两组第一激光喷砂组件可对工件相对的两侧壁进行同步喷砂作业,第二激光喷砂组件可同步对工件顶部进行喷砂作业。具体的,在某一高度位置,水平驱动组件可驱动第一激光发射器在第一水平支架上水平滑移,并在一条水平直线上对工件侧壁完成喷砂。随后,升降驱动组件可驱动第一水平支架上升一个高度至下个工位,水平驱动组件可继续驱动第一激光发射器水平滑移,继续进行喷砂作业。通过这种方式,直至工件的侧壁全部喷砂完成。类似的,在第二竖直支架上,纵向驱动组件可驱动第二激光发射器沿机架的长度方向滑移并对工件顶部进行喷砂,横向驱动组件可驱动第二水平支架沿机架的宽度方向平移来更换工位,直至工件顶部完全喷砂完成。通过这种方式,第一激光喷砂组件和第二激光喷砂组件可分别完成工件侧壁和上表面的喷砂作业;不仅操作简单,效率大大提高,而且还有助于提高工件喷砂处理效果。

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