[实用新型]柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置

说明书

本实用新型是柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，气体混合子单元包括导流混合舱和混合舱，混合舱为空心管状且侧壁两端边缘分别设置有环形进气带和环形出气带，混合舱的环形进气带与导流混合舱出气端连通，混合舱的环形出气带与下一级气体混合子单元内的导流混合舱的进气端连通，气体混合单元前置第一混合舱，第一混合舱的环形出气带与第一级气体混合子单元内导流混合舱的进气端连通，第一混合舱的进气端与反应气体混合室连通，第一混合舱的环形进气带与工作气体储气舱连通。该装置体积小、结构简单、经济，多种气体混合密度分布均匀，对柔性宽幅连续磁控溅射镀膜横向均匀性控制作用明显。

技术领域

本实用新型是涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体的说是柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置。

背景技术

柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜生产中，为提高单位时间生产产量，使用的原膜基带幅宽宽度在1米以上。现行柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜生产中，工作气体、反应气体均为分别独立管道直接输入到阴极沉积室中。由于沉积室气压极低，工作气体、反应气体以极快的速度进入沉积室，并由于真空泵低气压的作用下快速向真空泵出口方向移动。进入沉积室多种气体虽有混合，但由于时间短，多种气体混合不能完全，反应气体在工作气体气流中形成一个一个大小不等的独立气团。特别是横向幅宽方向这种气团大小不一，造成横向沉积反应均匀差异较大，导致沉积后的薄膜性能指标差异性也较大。

发明内容

本实用新型针对现有技术中的不足，提供柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，本装置使得多种气体的单一气团被充分分割的尽可能小，使混合后的多种气体进入磁控溅射沉积室后的分度密度更加均匀。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱和混合舱，所述的混合舱为空心管状，混合舱的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带和环形出气带，所述的混合舱的环形进气带与导流混合舱出气端连通，所述的混合舱的环形出气带与下一级气体混合子单元内的导流混合舱的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱两端的进气端和出气端均密封；

所述的气体混合单元前置第一混合舱，第一混合舱的环形出气带与第一级气体混合子单元内导流混合舱的进气端连通，第一混合舱的出气端密封，第一混合舱的进气端与反应气体混合室连通，第一混合舱的环形进气带与工作气体储气舱连通；

所述的反应气体混合室与至少一个反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱与至少一个工作气体进气口连通；

所述的环形进气带环形分布若干个进气喷嘴，所述的进气喷嘴的轴向沿环形进气带的径向分布，所述的进气喷嘴的孔径大小由管壁外侧到管壁内侧逐渐减小，所述的环形出气带环形分布若干个出气喷嘴，所述的出气喷嘴的轴向沿环形出气带的径向分布，所述的出气喷嘴的孔径大小由管壁内侧到管壁外侧逐渐减小。

所述的反应气体混合室分别与第一反应气体进气口和第二反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱与一个工作气体进气口连通。

所述的气体混合单元由四级气体混合子单元顺次连接组成，第一级气体混合子单元导流混合舱的进气端与第一混合舱的环形出气带连通，第四级气体混合子单元的混合舱的出气端与混合气体出气口连通。

所述的气体混合单元由内气管和外气管两根导气管相互嵌套形成，内气管内等间距的设置若干个混合舱隔板，所述的混合舱隔板与内气管轴向垂直，所述的混合舱隔板数量与气体混合子单元数量相同；所述的外气管内设置若干个环形导流室隔板，所述的导流室隔板设置于混合舱侧壁的中央位置；相邻混合舱隔板之间形成混合舱，相邻导流室隔板之间形成导流混合舱。