[实用新型]一种多孔坩埚钻孔装置

说明书

本实用新型属于坩埚加工设备技术领域，公开一种多孔坩埚钻孔装置，包括坩埚固定装置、钻孔机固定装置、喷水装置和控制装置；坩埚固定装置包括坩埚放置台和坩埚固定罩，坩埚放置台位于工作平台上方，且与工作平台下方的旋转驱动电机相连接，坩埚放置台的上表面具有环形凹槽，用于放置坩埚和坩埚固定罩，钻孔机固定装置包括第一固定装置和第二固定装置；第一固定装置包括第一底座、竖直固定杆和第一连接驱动组件，竖直固定杆上竖直分布有多个水平设置的第一钻孔机；第二固定装置包括第二底座、竖直伸缩杆、水平连接杆和固定盘，固定盘的下表面上连接有多个竖直设置的第二钻孔机。该钻孔装置精度高，可避免环境污染。

技术领域

本实用新型属于坩埚加工设备技术领域，具体涉及一种多孔坩埚钻孔装置。

背景技术

坩埚是用极耐火的材料(如粘土、石墨、瓷土、石英或较难熔化的金属铁等)所制的器皿或熔化罐。当有固体要以大火加热时，就必须使用坩埚，因为它比玻璃器皿更能承受高温。

多孔坩埚（多孔的石墨坩埚）可以配合高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料；利于实现了物料的分层堆放，避免其他物质带入的杂质，同时提高硅烷和碳粉的接触面积，利于热量的传递，从而提高反应收率和最终产品碳化硅粉料的纯度。多孔石墨坩埚通常是加工出石墨坩埚的埚体后，靠人工或利用钻机在石墨坩埚上开孔制成。

现有的用于多孔坩埚加工制造的钻孔装置，在钻孔操作过程中稳定性较差，钻孔过程中会出现偏移，孔分布不均匀、质量不等，开孔过程中容易对埚体造成损伤，且会产生二次扬尘污染环境，同时工作效率很低。

实用新型内容

针对上述情况，本实用新型的目的是提供一种多孔坩埚钻孔装置。采用该钻孔装置对石墨坩埚埚体进行钻孔，钻孔过程中结构稳定，孔的精度好，埚体不易损害，避免二次扬尘造成的环境污染，生产效率较高。

本实用新型提供了一种多孔坩埚钻孔装置，包括工作平台、钻孔机、坩埚固定装置、钻孔机固定装置、喷水装置和控制装置；

所述坩埚固定装置包括坩埚放置台和坩埚固定罩，所述坩埚放置台位于工作平台上方，且坩埚放置台的底部与工作平台下方的旋转驱动电机相连接，坩埚放置台的上表面具有环形凹槽，凹槽中心的凸台直径与坩埚的内径相匹配（坩埚可扣设在凸台上，且两者的配合面相接触），所述坩埚固定罩的内腔与坩埚相匹配（坩埚固定罩扣设在坩埚上，且能够起到箍卡作用），坩埚固定罩为下端开口的柱形桶，柱形桶的侧面及顶面上分布有孔，且柱形桶的底部设有凸沿，凸沿的外直径与凹槽的外直径相匹配（凸沿可容纳在凹槽内，且两者的配合面相接触），所述坩埚固定罩由轴向均分的两半组成；

所述钻孔机固定装置包括第一固定装置和第二固定装置；所述钻孔机包括第一钻孔机和第二钻孔机；所述第一固定装置包括第一底座、竖直固定杆和第一连接驱动组件，所述第一连接驱动组件包括第一驱动电机、丝杆和固定座，丝杆两端通过固定座固定在第一底座上，第一驱动电机连接在丝杆远离坩埚的一端，竖直固定杆底部连接在丝杆上（第一连接驱动组件的设置是为了固定竖直固定杆，且调节竖直固定杆与坩埚固定罩之间的距离），所述竖直固定杆上竖直分布有多个水平设置的第一钻孔机；所述第二固定装置包括第二底座、竖直伸缩杆、水平连接杆和固定盘，所述竖直伸缩杆的底部固定在第二底座上，水平连接杆的一端连接于竖直伸缩杆的顶部，另一端与固定盘的侧壁相连，固定盘的下表面上连接有多个竖直设置的第二钻孔机；

所述喷水装置包括水箱、水泵、输水管和喷头，喷头与水箱通过输水管连接，水泵连接在输水管上，所述喷头的设置位置与钻孔机的钻孔位置相匹配；喷头可设置一个或多个，能够实现对侧面打孔和顶面打孔处进行喷水即可。

所述旋转驱动电机、第一驱动电机、各第一钻孔机的驱动电机、竖直伸缩杆的驱动组件、各第二钻孔机的驱动电机和喷水装置分别与所述控制装置电连接。