[实用新型]一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置有效
| 申请号： | 201920245548.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN209445998U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 孙胜利;于清华;陈凡胜;林长青;林加木 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探测器 焦平面 拼接 光源组件 平面度测量装置 焦平面探测器 调整系统 精度位置 视场位置 位置坐标 光源 会聚 位置调整系统 信号实时监测 测量装置 测试过程 精细调整 平面拟合 响应信号 高精密 光敏面 平面度 全视场 遍历 记录 覆盖 | ||
【权利要求书】：
1.一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置，包括小F数点光源会聚光源组件和高精密位置调整系统，其特征在于：
所述的大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置中光源组件的工作谱段覆盖预定检测的焦平面探测器响应谱段；光源组件的后工作距满足大规模拼接焦平面探测器平面度测量需求；高精密位置调整系统与小F数点光源会聚光源组件刚性固定链接，且高精度位置调整系统的位置测量精度满足满足大规模拼接焦平面探测器平面度测量需求。
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