[实用新型]显影缸消泡装置

权利要求书

1.一种显影缸消泡装置，其特征在于，包括药液槽体、过滤泵、喷管、抽水管和多个喷嘴，喷管横向水平安装在药液槽体的槽口侧壁，多个喷嘴横向水平排列安装于喷管的侧壁上；过滤泵的抽水口通过抽水管与药液槽体连通，其出水口与喷管密封相连，喷嘴所喷出的药液始终与药液槽体内的药液最高面齐平。

2.根据权利要求1所述的显影缸消泡装置，其特征在于，药液槽体的上方安装有显影喷淋装置。

3.根据权利要求1所述的显影缸消泡装置，其特征在于，过滤泵包括抽水泵和过滤器，过滤器安装在抽水泵的抽水口处，过滤器的进水孔处通过抽水管与药液槽体连通，抽水泵的出水口与喷管密封相连。

4.根据权利要求3所述的显影缸消泡装置，其特征在于，过滤器包括壳体、安装于壳体内的过滤芯体，过滤芯体安装在壳体内的出水孔处，且过滤芯体的内部过滤通道与壳体内的出水孔连通；壳体的出水孔与抽水泵的抽水口密封相连，进水孔处通过抽水管与药液槽体密封相连。

5.根据权利要求4所述的显影缸消泡装置，其特征在于，壳体包括左壳和右壳，左壳的开口端和右壳的开口端均具有法兰盘，两法兰盘上均具有相互对应设置的多个固定孔，两法兰盘相互贴合后在相互对应设置的固定孔所构成的通道内穿入固定螺栓，固定螺栓的螺杆上螺接螺母进行固定结合两法兰盘；一法兰盘的内侧面具有定位环槽，定位环槽内嵌入密封环，用于对壳体进行密封；左壳的侧部设置出水孔，右壳的侧部设置进水孔。

6.根据权利要求1所述的显影缸消泡装置，其特征在于，喷嘴为喷流角度达到180度的扇形喷嘴。