[实用新型]应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置

说明书

本实用新型公开了一种应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，所述烧结炉包括内设炉膛的炉体和设置在炉体外的护罩，护罩与炉体之间填充有保温层，所述烧结炉的中下部设置有进气管路；所述引流装置包括横向设置在烧结炉中下部保温层内的负压抽吸装置和竖向设置在保温层内负压引流管，负压引流管的底端与负压抽吸装置的喉部连通，负压引流管的顶端与烧结炉炉膛的顶部连通；所述负压抽吸装置的收缩段入口与进气管路连通，位于炉膛内的负压抽吸装置扩散段末端为高温氧气出气口。本实用新型不仅可对新通入的冷态氧气进行预热，降低能源消耗，还能够明显改善炉膛内气体流动状态，均匀氧气流场，加强传质传热，大大提高了ITO靶材坯体的烧结合格率。

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材生产技术领域，特别一种烧结炉上的辅助装置。

背景技术

随着科技的迅速发展，电子行业在市场中占据巨大的份额，电子行业市场中很多电子产品都用到了平面显示器，例如平面显示器、液晶电脑、液晶电视等等。ITO靶材是三氧化二铟和二氧化锡的混合物，是ITO薄膜制备的重要原料，ITO靶材因其具有较高的耐热冲击性能、导热率和机械强度，并且电阻率较低，还能够提高电子产品的使用寿命，因此作为主要材料应用于平面液晶显示器的制造，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶材坯体制备成型后需要经过烧结才能作为基础材料生产电子产品。

烧结炉是ITO靶材坯体制备过程中要与烧结坯体的主要设备，烧结炉在工作过程中，为保证烧结炉的烧结气氛，需要连续向烧结炉中输送氧气，但是由于烧结炉内温度较高，供气温度较低，因此当氧气通过进气管输送到烧结炉内后，容易引起烧结炉内的温度梯度变大，影响了ITO靶材坯体晶粒的生长；另外，还会造成坯体烧结过程中应力释放的不均匀，降低了ITO靶材坯体的成品率。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种应用于烧结炉中的内循环引流装置，以提高进气温度，改善炉膛内气体流动状态，均匀氧气流场，进一步保证ITO靶材坯体晶粒的正常生长，提高ITO靶材坯体的成品率。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，所述烧结炉包括内设炉膛的炉体和设置在炉体外的护罩，护罩与炉体之间填充有保温层，所述烧结炉的中下部设置有进气管路；所述引流装置包括横向设置在烧结炉中下部保温层内的负压抽吸装置和竖向设置在保温层内负压引流管，负压引流管的底端与负压抽吸装置的喉部连通，负压引流管的顶端与烧结炉炉膛的顶部连通；所述负压抽吸装置的收缩段入口与进气管路连通，位于炉膛内的负压抽吸装置扩散段末端为高温氧气出气口。

上述应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，所述烧结炉的顶部设置有竖直向上连通炉膛与外界的排气管。

上述应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，所述进气管路设置有多根，对应地引流装置也设置为多套，每套引流装置与一根进气管路相配装使用；多根进气管路水平呈环形散射状布设在烧结炉中下部。

由于采用了以上技术方案，本实用新型所取得技术进步如下。

本实用新型通过在保温层中设置的负压引流管和利用伯努利定理设计的负压抽吸装置，可以将炉膛中的一部分热气引入到负压抽吸装置中，与输送入负压抽吸装置的氧气汇合，不仅可对新通入的冷态氧气进行预热，减少冷气体对炉内温度的冲击，降低能源消耗，还能够明显改善炉膛内气体流动状态，均匀氧气流场，加强传质传热，大大提高了ITO靶材坯体的烧结合格率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1.负压抽吸装置，2.炉膛，3.保温层，4.排气口，5.进气口，6.负压引流管。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。