[实用新型]一种卷绕式真空镀膜机有效

申请号：	201920192140.1	申请日：	2019-02-12
公开（公告）号：	CN209619441U	公开（公告）日：	2019-11-12
发明（设计）人：	李正平;李成林	申请（专利权）人：	浙江德佑新材料科技有限公司
主分类号：	C23C14/35	分类号：	C23C14/35;C23C14/56;C23C14/58
代理公司：	北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613	代理人：	韩国胜
地址：	314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
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【权利要求书】：

1.一种卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

该真空镀膜机包括有再处理箱(1)及镀膜箱，再处理箱(1)包括放卷辊(2)、收卷辊(9)和再处理系统，所述再处理系统包括有多个展平辊(5)及温度控制辊，所述温度控制辊分别为第一温度控制辊(4)、第二温度控制辊(6)和第三温度控制辊(7)；所述镀膜箱包括镀膜室，镀膜室包括第一镀膜室(21)、第二镀膜室(14)和第三镀膜室(10)。

2.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述第一镀膜室(21)中包括第一镀膜辊(20)和第一镀膜室磁控靶(19)，所述第一镀膜室磁控靶(19)设置在所述第一镀膜辊(20)正下方位置。

3.根据权利要求2所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述第二镀膜室(14)中包括第二镀膜辊(17)和蒸发源(16)，所述蒸发源(16)设置在所述第二镀膜辊(17)正下方位置。

4.根据权利要求3所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述第三镀膜室(10)中包括第三镀膜辊(13)和第三镀膜室磁控靶(11)，所述第三镀膜室磁控靶(11)设置在所述第三镀膜辊(13)正下方位置。

5.根据权利要求4所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述再处理箱(1)与镀膜箱之间设置有隔板(22)，所述第一镀膜辊(20)、第二镀膜辊(17)和第三镀膜辊(13)设置在隔板(22)上，各镀膜辊与隔板(22)的连接位置处存在间隙，间隙宽度为1-3mm。

6.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述再处理箱(1)中还设置有两个传感器辊，分别为第一传感器辊(3)和第二传感器辊(8)，所述第一传感器辊(3)放置在放卷辊(2)的下方，第二传感器辊(8)放置在收卷辊(9)的上方。

7.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机，其特征在于：

所述温度控制辊表面温度范围为0-800℃，其发热方式为内部发热丝产热。