[实用新型]一种晶体生长炉用称重机构有效
申请号: | 201920173799.2 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN209602664U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 代晓波;彭海松;解宏伟 | 申请(专利权)人: | 独山中科晶元信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 韩炜 |
地址: | 558299 贵州省黔*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滑轴 称重传感器 固定滑套 本实用新型 晶体生长炉 称重机构 控制芯片 无线网络模块 滑动连接 结构可控 晶体生长 显示模块 中轴对称 悬挂杆 弹簧 底端 | ||
本实用新型公开了一种晶体生长炉用称重机构。包括固定滑套(1),固定滑套(1)与滑轴(2)滑动连接,固定滑套(1)与滑轴(2)间的间隙为0.5~1mm,滑轴(2)的顶端设有顶板(3),滑轴(2)的底端设有晶体悬挂杆(4);所述的顶板(3)经弹簧(5)与设于固定滑套(1)上的称重传感器(6)连接;所述的称重传感器(6)为两个,两称重传感器(6)沿滑轴(2)的中轴对称;所述的称重传感器(6)与控制芯片(7)连接,控制芯片(7)还分别与显示模块(8)和无线网络模块(9)连接。本实用新型具有结构简单,确保晶体生长结构可控和使用方便的特点。
技术领域
本实用新型涉及晶种量测设备,特别是一种晶体生长炉用称重机构。
背景技术
在晶体制造领域,使用晶体生长炉来制造晶体。目前晶体在晶体生长炉中生长时存在下述问题:由于晶体在生长炉中的情况不能直观看到,往往晶体生长的形态不可控,致使生长的晶体不规则,导致最终制造的晶体不达标。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供一种晶体生长炉用称重机构。本实用新型具有结构简单,确保晶体生长结构可控和使用方便的特点。
本实用新型的技术方案:一种晶体生长炉用称重机构,包括固定滑套,固定滑套与滑轴滑动连接,固定滑套与滑轴间的间隙为0.5~1mm,滑轴的顶端设有顶板,滑轴的底端设有晶体悬挂杆;所述的顶板经弹簧与设于固定滑套上的称重传感器连接;所述的称重传感器为两个,两称重传感器沿滑轴的中轴对称;所述的称重传感器与控制芯片连接,控制芯片还分别与显示模块和无线网络模块连接。
前述的晶体生长炉用称重机构中,所述的称重传感器的型号是YZC-522TS。
前述的晶体生长炉用称重机构中,所述的控制芯片的型号是Raspberry Pi+;所述的显示模块的型号是AISU8,无线网络模块的型号为ESP8266。
有益效果
与现有技术相比,本实用新型将固定滑套与滑轴滑动连接,滑轴的顶端设有顶板,固定滑套与滑轴间的间隙为0.5~1mm,滑轴的底端设有晶体悬挂杆;顶板经弹簧与设于固定滑套上的称重传感器连接;称重传感器为两个,两称重传感器沿滑轴的中轴对称;称重传感器与控制芯片连接,控制芯片还分别与显示模块和无线网络模块连接;使用时,将固定滑套固定晶体生长炉上部,在晶体悬挂杆下方悬挂籽晶进行晶体生长,晶体生长的重量通过两个对称的称重传感器进行称重,通过两个称重传感器的偏差调节炉内温场,使得晶体能够均匀生长;通过上述简单结构,有效确保了晶体生长的结构可控,有效确保了晶体生长的均匀性,确保晶体生长质量。
本实用新型将称重传感器连接在控制芯片上,控制芯片还分别与显示模块和无线网络模块连接;通过该结构,能够实时地、直观地显示两个称重传感器的偏差,同时能够将温度差异信息通过无线网络模块远程发送,实现了晶体生长的远程控制,使用更方便。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
附图中的标记为:1-固定滑套, 2-滑轴,3-顶板,4-晶体悬挂杆,5-弹簧,6-称重传感器,7-控制芯片,8-显示模块,9-无线网络模块。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明,但并不作为对本实用新型限制的依据。
实施例。一种晶体生长炉用称重机构,构成如图1所示,包括固定滑套1,固定滑套1与滑轴2滑动连接,固定滑套1与滑轴2间的间隙为0.5~1mm,滑轴2的顶端设有顶板3,滑轴2的底端设有晶体悬挂杆4;所述的顶板3经弹簧5与设于固定滑套1上的称重传感器6连接;所述的称重传感器6为两个,两称重传感器6沿滑轴2的中轴对称;所述的称重传感器6与控制芯片7连接,控制芯片7还分别与显示模块8和无线网络模块9连接。
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