[实用新型]一种砷化镓晶种加工设备有效

专利信息
申请号: 201920162054.6 申请日: 2019-01-30
公开(公告)号: CN209811968U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 代晓波;张波;穆怀慈 申请(专利权)人: 独山中科晶元信息材料有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B41/06;B24B47/20;B24B47/12;B24B55/06;C30B35/00;C30B29/42
代理公司: 11362 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 代理人: 韩炜
地址: 558299 贵州省黔*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 打磨 滑动板 打磨片 滑块 本实用新型 进给机构 驱动电机 导向槽 进水口 晶种 调节螺杆螺纹 穿过 挡板 调节螺杆 滑动连接 加工设备 出水口 固定夹 上表面 砷化镓 下表面 支承座 腔内 转轴 加工 环保
【权利要求书】:

1.一种砷化镓晶种加工设备,其特征在于:包括驱动电机(1),驱动电机(1)的转轴穿过打磨型腔(2)与设于打磨型腔(2)内的打磨片(3)连接;所述的打磨型腔(2)上还设有打磨进给机构(4);所述的打磨型腔(2)上还分别设有进水口(5)和出水口(6),所述的进水口(5)靠近打磨片(3)位置设置;所述的打磨进给机构(4)包括滑动板(41),滑动板(41)的下表面设有晶种固定夹(42),滑动板(41)的上表面设有滑块(43),滑动板(41)远离打磨片(3)的一端设有挡板;所述的滑块(43)穿过设于打磨型腔(2)上的导向槽(7)并与导向槽(7)滑动连接,滑块(43)还与调节螺杆(44)螺纹连接,调节螺杆(44)经支承座(8)与打磨型腔(2)连接。

2.根据权利要求1所述的砷化镓晶种加工设备,其特征在于:所述的调节螺杆(44)的一端还设有调节手柄(45)。

3.根据权利要求1所述的砷化镓晶种加工设备,其特征在于:所述的进水口(5)和出水口(6)还与循环水处理机构(9)连接;所述的循环水处理机构(9)包括储水箱(91),储水箱(91)经循环泵(92)与进水口(5)连接,所述的循环水处理机构(9)还包括废液收集箱(93),废液收集箱(93)分别与出水口(6)和设有过滤网(94)的过滤水箱(95)连接,过滤水箱(95)与储水箱(91)连接。

4.根据权利要求3所述的砷化镓晶种加工设备,其特征在于:所述的过滤水箱(95)为三级过滤水箱。

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