[实用新型]一种适用于不同晶舟的检测装置

说明书

本实用新型提供一种适用于不同晶舟的检测装置，包括升降夹板、调节顶针和传感装置，调节顶针包括调节旋钮，调节顶针的中部设置有轴肩，升降夹板包括第一夹板、第二夹板和伸缩杆，传感装置设置在调节顶针的另一端的一侧上。使用调节旋钮在升降夹板上调节，使得调节旋钮突出与第一夹板的长度不同，进而满足不同晶舟的放置。具体的，将晶舟放置于调节旋钮上，使得调节顶针被挤压移动，同时位于调节顶针的弹簧也被挤压收缩，而调节顶针的另一端会被压入传感装置内，进而检测到该晶舟被精确放置。而通过调整调节旋钮来满足不同晶舟的放置，提高检测装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及晶舟装置领域，尤其涉及一种适用于不同晶舟的检测装置。

背景技术

随着时代的发展，半导体技术发展越来越快，作为半导体黄光区关键设备的TRACK(涂布机和显影机)显的越来越重要，其工作效率直接影响整个工艺流程的进度。TRACK(涂布机和显影机)机台操作流程步骤中关键的一步就是晶舟的放置，而用来感应晶舟有无放置好的顶针则成为了一个重要的部分。然而现有放置不同晶舟时，是通过添加垫片的方式而调整顶针高度，而垫片容易受到挤压变形或中间夹带杂物，导致晶舟的加工精度有一定的影响，造成产品的不良率较高。

实用新型内容

为此，需要提供一种适用于不同晶舟的检测装置，解决不同尺寸的晶舟的放置的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种适用于不同晶舟的检测装置，包括升降夹板、调节顶针和传感装置；所述调节顶针包括调节旋钮，所述调节旋钮设置在调节顶针的一端，调节顶针的中部设置有轴肩；所述升降夹板包括第一夹板、第二夹板和伸缩杆，所述伸缩杆设置在第一夹板和第二夹板之间，所述调节旋钮贯穿第一夹板设置，所述调节顶针的另一端贯穿第二夹板设置，所述轴肩位于第一夹板与第二夹板之间，且所述轴肩与第二夹板之间的调节顶针套设有弹簧，调节旋钮用于调整调节旋钮伸出第一夹板的长度，所述传感装置设置在调节顶针的另一端的一侧上，所述传感装置用于检测调节顶针是否受到晶舟的挤压移动。

进一步地，所述调节旋钮的一端面设置有空腔，所述空腔内设置有内螺纹。

进一步地，所述调节顶针的一端外侧面设置有外螺纹，所述内螺纹与外螺纹相互旋合设置。

进一步地，还包括固定螺栓，所述固定螺栓贯穿调节旋钮的空腔底面设置在调节顶针的一端面内。

进一步地，所述传感装置包括传感器和底座，所述底座的一侧面设置有检测端口，传感器设置在检测端口内，所述底座的检测端口位于调节顶针另一端朝向的正面上。

区别于现有技术，上述技术方案通过调节旋钮在升降夹板上调节，使得调节旋钮突出与第一夹板的长度不同，进而满足不同晶舟的放置。具体的，将晶舟放置于调节旋钮上，使得调节顶针被挤压移动，同时位于调节顶针的弹簧也被挤压收缩，而调节顶针的另一端会被压入传感装置内，进而检测到该晶舟被精确放置。而通过调整调节旋钮来满足不同晶舟的放置，提高检测装置的实用性。

附图说明

图1为具体实施方式所述的适用于不同晶舟的检测装置的结构图；

图2为具体实施方式所述的适用于不同晶舟的检测装置的局部剖视图。

附图标记说明：

10、升降夹板；101、第一夹板；102、第二夹板；103、伸缩杆；

20、调节顶针；201调节旋钮；202、轴肩；203、外螺纹；

2011、空腔；2012、内螺纹；

30、传感装置；301、传感器；302、底座；3021、检测端口；

40、弹簧；

50、固定螺栓；

具体实施方式