[实用新型]一种镀膜机用靶材加热保温装置有效

专利信息
申请号: 201920121754.0 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN209481773U 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 杨群生;苏纪荣 申请(专利权)人: 青岛汇聚机械设备有限公司
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00;F27B17/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266061 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 镀膜机 固定架 活动盖 本实用新型 靶材加热 保温装置 电动推杆 保护罩 保温层 支腿架 壳体 内胆 体内 抓取 加热保温装置 加热器 加热器安装 方便拆卸 技术应用 壳体底端 壳体内壁 壳体内部 内胆外壁 装置设计 靶材 底端 左端
【权利要求书】:

1.一种镀膜机用靶材加热保温装置,包括:壳体(1)、保温层(2)、内胆(3)、保护罩(4)、一对结构相同的第一电动推杆(5)、加热器(6)、固定架(7)、活动盖(8)以及支腿架(9),其特征在于,所述保温层(2)位于壳体(1)内,且敷设其内壁面上,所述固定架(7)安装于壳体(1)内,且与其内壁固定连接,所述内胆(3)安装于固定架(7)上,所述加热器(6)安装于内胆(3)外壁,所述保护罩(4)底端与壳体(1)内壁固定连接,且套装于加热器(6)上,一对所述第一电动推杆(5)左端安装于壳体(1)内部,且与壳体(1)内壁固定连接,所述活动盖(8)位于壳体(1)右侧,且与第一电动推杆(5)右侧相连接,所述支腿架(9)安装于壳体(1)底端,且分布四个角落,所述活动盖(8)上具有抓取结构;

所述抓取结构,其包括:第二电动推杆(10)、抓取钳(11)以及支撑架(12);

所述第二电动推杆(10)安装于活动盖(8)内壁面上,所述抓取钳(11)安装于第二电动推杆(10)伸缩端,所述支撑架(12)一端安装于活动盖(8)上,另一端与第二电动推杆(10)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用靶材加热保温装置,其特征在于,所述壳体(1)外侧设有防护垫(13),该防护垫(13)用于保护壳体(1),避免在搬运或者移动过程中发生碰撞时,对其造成磨损。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机用靶材加热保温装置,其特征在于,所述支腿架(9)底端设有防滑垫(14),该防滑垫(14)用于防滑。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜机用靶材加热保温装置,其特征在于,所述保护罩(4)内设有隔热垫(15),该隔热垫(15)用于隔热。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机用靶材加热保温装置,其特征在于,所述第二电动推杆(10)外侧设有伸缩保护套(16),该伸缩保护套(16)用于保护第二电动推杆(10)。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机用靶材加热保温装置,其特征在于,所述内胆(3)内部设有存放架(17),该存放架(17)用于放置靶材。

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