[实用新型]真空泵

说明书

本实用新型涉及一种真空泵，在使用滚珠轴承的一体型涡轮分子泵(真空泵)中，防止滚珠轴承的温度上升来谋求耐用年数的提升。涡轮分子泵(真空泵)(1)包括：转子(3)，形成有多段的旋转叶片(30)；底座(2)，包含转动自如地支承转子(3)的滚珠轴承(8)；外筒(12)，覆盖转子(3)并与所述底座(2)连接；以及控制装置(100)，包含具有发热元件(103)的电子电路；且控制装置(100)设置为与外筒(12)接触。

技术领域

本实用新型涉及一种将泵装置与控制装置一体化而成的一体型的真空泵。

背景技术

作为半导体制造装置或分析装置等中所使用的真空泵，使用涡轮分子泵。涡轮分子泵包括：泵装置，以及包含用于对泵装置内的马达等进行驱动、控制的驱动电路、控制电路等的控制装置。

在涡轮分子泵中，通过使形成有多段的旋转叶片的转子进行高速旋转来进行排气，因此在作为转子的旋转轴的传动轴的两端附近，设置有旋转自如地支承所述传动轴的轴承。轴承可使用润滑油润滑式的滚珠轴承、或者利用永久磁铁或电磁铁的吸引排斥力的磁轴承。磁轴承具有不接触这一优点，但与滚珠轴承相比，磁轴承大型且成本变高。因此，在小型的泵中，通常在传动轴的一侧的吸气口侧(高真空侧)的端部使用磁轴承，在另一侧的排气口侧(低真空侧)的端部使用小型且低成本的润滑油润滑式的滚珠轴承。

为了使涡轮分子泵小型化，已知有如专利文献1中所记载的泵装置与控制装置的一体化。在专利文献1中记载的涡轮分子泵中，在进行真空排气的泵装置的底座的侧面形成凹部，将包含搭载有电子零件的基板的控制装置收纳在此凹部中来谋求小型化。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-105695号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

在涡轮分子泵中，为了使转子进行高速旋转而需要利用大电力的驱动，因此控制装置内的特别是驱动电路成为大的发热源。在为了小型化而已将泵装置与控制装置一体化的情况下，控制装置内的驱动电路等发热元件中产生的热传达至泵装置中。而且，若此热传达至支承转子的滚珠轴承中，则存在滚珠轴承的润滑油等润滑剂受到加热而蒸发，滚珠轴承的寿命变短这一问题。

[解决问题的技术手段]

根据本实用新型的第1形态，真空泵包括：转子，形成有多段的旋转叶片；底座，包含转动自如地支承所述转子的滚珠轴承；外筒，覆盖所述转子并与所述底座连接；以及控制装置，包含具有发热元件的电子电路；且所述控制装置设置为与所述外筒接触。

[实用新型的效果]

根据本实用新型，从控制装置内的发热元件中产生的热从控制装置朝外部散热，并且一部分传达至真空泵本体的外筒中，而从外筒朝外部散热。由此，可防止设置在底座内的滚珠轴承的温度上升。

附图说明

图1是第1实施方式的涡轮分子泵1的剖面图。

图2是表示第2实施方式的涡轮分子泵1A的一部分的剖面图。

图3是表示第3实施方式的涡轮分子泵1B的一部分的剖面图。

图4是表示变形例1的涡轮分子泵的一部分的剖面图。

[符号的说明]

1、1A、1B：涡轮分子泵(真空泵)

2：底座

3：转子

4：马达

5：传动轴

8：滚珠轴承