[实用新型]一种高温型气体质量流量控制器用传感器

说明书

本实用新型公开了一种高温型气体质量流量控制器用传感器，包括阀体，阀体的上表面设置有传感器固定板和流量调节阀固定板，传感器固定板上设置有传感器，传感器包括上壳体、下壳体、第一气体接头、第二气体接头、第一连接管体、第二连接管体、毛细管、热敏电阻丝和精密电阻，下壳体位于传感器固定板的上表面的中端。本实用新型高温型气体质量流量控制器用传感器，上壳体和下壳体通过螺栓连接，全部采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定，安装可靠，不易损坏，不锈钢材质制成的上壳体、下壳体和毛细管，具有耐腐蚀、耐热和焊接性的特点，环境温度可达100摄氏度，最大设计温度120摄氏度，采用毛细管焊接工艺，整体耐高压抗腐蚀，稳定性强。

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种高温型气体质量流量控制器用传感器。

背景技术

气体质量流量控制器，即Mass Flow Controller(缩写为MFC)，是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量，即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化，也不会影响其正常的工作，原则上不需要温度和压力补偿，气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

现有的气体质量流量控制器所采用的传感器，其耐高温性能差，不能很好的抗腐蚀，导致使用寿命短，稳定性差。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高温型气体质量流量控制器用传感器，解决了现有的气体质量流量控制器所采用的传感器，其耐高温性能差，不能很好的抗腐蚀，导致使用寿命短，稳定性差的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高温型气体质量流量控制器用传感器，包括阀体，所述阀体的一侧端面设置有第一气路接口，所述阀体的另一侧端面设置有第二气路接口，所述阀体的上表面设置有传感器固定板和流量调节阀固定板，所述流量调节阀固定板位于传感器固定板的一侧，所述传感器固定板和流量调节阀固定板均通过螺栓安装在阀体的上表面上，所述传感器固定板上设置有传感器，所述传感器通过线缆与控制电路板电连接，所述控制电路板位于传感器的一侧且固定安装在阀体上，所述控制电路板的上端设置有用户连接接头，所述流量调节阀固定板上设置有流量调节阀，所述流量调节阀位于传感器的一侧；

所述传感器包括上壳体、下壳体、第一气体接头、第二气体接头、第一连接管体、第二连接管体、毛细管、热敏电阻丝和精密电阻，所述下壳体位于传感器固定板的上表面的中端，所述下壳体的上表面设置有上壳体，所述下壳体的一侧设置有第一气体接头，所述下壳体的另一侧设置有第二气体接头，所述第一气体接头和第二气体接头均穿过传感器固定板与阀体连接，所述第一气体接头通过第一连接管体与毛细管的一端连接，所述第二气体接头通过第二连接管体与毛细管的另一端连接，所述毛细管位于上壳体和下壳体的内侧，所述毛细管上缠绕有热敏电阻丝和精密电阻，所述精密电阻位于热敏电阻丝的一侧。

优选的，所述上壳体和下壳体通过螺栓连接。

优选的，所述毛细管为一种不锈钢材质制成的构件。

优选的，所述上壳体和下壳体均为一种不锈钢材质制成的构件。

优选的，所述上壳体的下端开设有供线缆贯穿的条形通孔。

优选的，所述下壳体的两侧端面均开设有分别供第一连接管体和第二连接管体贯穿的圆弧形通孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种高温型气体质量流量控制器用传感器。具备以下有益效果：