[实用新型]一种位移测量传感器有效
| 申请号： | 201920043059.7 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN209230530U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 魏群;秦建秋 | 申请（专利权）人： | 南京华群光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕;孟睿 |
| 地址： | 210039 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柱面镜 胶合透镜 凸透镜 位移测量传感器 本实用新型 光斑 光电耦合 直角棱镜 平行光 四象限 探测器 光源 测量 胶合 透镜 非接触式 能量强弱 形式输出 原路返回 反射光 传感器 整形 出射 光路 入射 反射 聚焦 | ||
1.一种位移测量传感器，其特征在于，包括光源(1)、一号柱面镜(2)、一号凸透镜(3)、胶合透镜(4)、二号柱面镜(5)、二号凸透镜(6)和四象限光电耦合探测器(7)；
所述光源(1)发出的光，经过一号柱面镜(2)和一号凸透镜(3)进行光路整形得到平行光，该平行光经过胶合透镜(4)后入射至二号柱面镜(5)，并经过二号柱面镜(5)出射至目标面上形成光斑，该光斑的反射光沿原路返回至胶合透镜(4)，并被胶合透镜(4)反射到二号凸透镜(6)，经过二号透镜(6)的聚焦作用，在四象限光电耦合探测器(7)上以能量强弱的形式输出电信号，从而得到与电信号一一对应的距离。
2.根据权利要求1所述的位移测量传感器，其特征在于，所述胶合透镜(4)由第一直角棱镜、第二直角棱镜和一块柱面镜胶合而成，其中第一直角棱镜、第二直角棱镜的最长面粘接在一起形成一个分光棱镜，该分光棱镜的出光面与所述柱面镜的平面相粘接；一号凸透镜(3)出射的平行光，顺次通过第一直角棱镜、第二直角棱镜、柱面镜后，入射至二号柱面镜(5)。
3.根据权利要求1或2所述的位移测量传感器，其特征在于，所述一号凸透镜(3)设置于一号柱面镜(2)的一倍焦距位置。
4.根据权利要求1或2所述的位移测量传感器，其特征在于，所述四象限光电耦合探测器(7)设置于二号凸透镜(6)的焦点处，并且探测器与成像形成的十字呈45°夹角。
5.根据权利要求1或2所述的位移测量传感器，其特征在于，所述一号凸透镜(3)、二号凸透镜(6)的表面均镀有645nm-655nm的窄带宽滤光膜。
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