[实用新型]一种化学机械抛光用自动上料装置

权利要求书

1.一种化学机械抛光用自动上料装置，包括固定底座（1）、传送框架（3）和载物台（24），其特征在于：所述固定底座（1）上安装有水平电机底座（12），且水平电机底座（12）上安装有水平电动机（11），所述水平电动机（11）内部安装有转动轴（10），且转动轴（10）上安装有皮带轮（9），所述传送框架（3）下端安装有支撑底座（2），且传送框架（3）通过支撑底座（2）与固定底座（1）相连接，所述传送框架（3）内安装有滚动筒（4），且滚动筒（4）内部安装有辊筒轴（5），所述滚动筒（4）上安装有传送皮带（6），且传送皮带（6）上安装有挡物板（7），所述辊筒轴（5）通过连接皮带（8）与转动轴（10）相连接，所述固定底座（1）上安装有液体箱（13），且液体箱（13）上安装有抽水泵（14），所述液体箱（13）和抽水泵（14）通过连接杆（23）与支撑底座（2）相连接，且抽水泵（14）内安装有输送水管（16），所述载物台（24）下端安装有支撑底座（2），且载物台（24）上安装有护板框架（25），所述护板框架（25）上表面开设有进料口（18）和进液口（19），且护板框架（25）右侧开设有出料口（20），所述护板框架（25）外侧表面安装有输送水管（16），且输送水管（16）上安装有输液喷头（17），所述载物台（24）下端安装有竖直电机（22），且竖直电机（22）通过竖直电机底座（21）与载物台（24）相连接，所述载物台（24）下端安装有回流水管（15），且回流水管（15）与支撑底座（2）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光用自动上料装置，其特征在于：所述传送框架（3）右侧端比进料口（18）高，且传送框架（3）右侧端与进料口（18）左侧端在同一竖直平面内。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光用自动上料装置，其特征在于：所述辊筒轴（5）外径长度等于连接皮带（8）的宽度，且连接皮带（8）的宽度等于皮带轮（9）的宽度。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光用自动上料装置，其特征在于：所述回流水管（15）与载物台（24）连接处安装有过滤网，且过滤网的表面孔的直径小于物料的直径。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光用自动上料装置，其特征在于：所述输液喷头（17）的轴线与进液口（19）轴线重合，且输液喷头（17）的外径小于进液口（19）的内径长度。