[实用新型]一种单晶炉热场缺口外部填充机构

说明书

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。包括安装机构及热场填充机构；安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。本实用新型本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。

技术领域

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气，氩气)为主环境中，用加热器将多晶硅等多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备。因各种原因需要在热场开一个或多个缺口，方便其进行作业，但热场缺口会影响单晶炉内部热场温度和通过缺口损失热量，从而影响单晶硅的生产品质，提高能耗。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉热场缺口外部填充机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种单晶炉热场缺口外部填充机构，包括安装机构及热场填充机构；

安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；

热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；

直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。

作为一种改进，安装座顶部设有多个真空抽气口。

作为一种改进，波纹管为焊接波纹管。

作为一种改进，填充物材料为碳或石墨。

作为一种改进，气动直线运动机构包括气缸，气缸上设有安装板，安装板与外壳体后端连接，气缸杆设有伸出安装板，伸出安装板与端盖连接。

作为一种改进，丝杆直线运动机构包括电机，电机通过电机安装板固设于外壳体前部，电机输出轴通过联轴器和丝杆机构连接；丝杆机构滑块上设有连杆，连杆和连杆安装板连接；连杆安装板和端盖连接。

作为一种改进，手动直线运动机构包括把手，把手设于端盖后端。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：

本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。

附图说明

图1为单晶炉热场缺口外部填充机构的结构示意图。

图2为热场填充机构的结构示意图。

图3为安装座的结构示意图。

图4为气动直线运动机构的结构示意图。

图5为丝杆直线运动机构的结构示意图。

图6为手动直线运动机构的结构示意图