[发明专利]一种分离式相控空化增强磨粒微射流抛光系统

权利要求书

1.一种分离式相控空化增强磨粒微射流抛光系统，其特征在于：包括多通道相控发射系统（01）、六自由度移动平台（02）、抛光工具（03）、加工工件（04）、工件安装平台（05）、加工池（06）、低粘性磨粒流（07）、上位机控制系统（08）、变频器（09）、柱塞式水泵（10）、磨粒流注入管路系统（11）、安全管路系统（12）、磨粒流输出管路系统（13）；所述多通道相控发射系统（01）与所述抛光工具（03）连接，多通道相控发射系统（01）控制所述抛光工具（03）产生相控空化；所述抛光工具（03）固定在所述六自由度移动平台（02）的活动端，六自由度移动平台（02）带动抛光工具（03）移动并实现抛光工具（03）沿x、y、z三轴的移动及绕x、y、z三轴的转动；所述加工工件（04）安装于所述工件安装平台（05）上；所述工件安装平台（05）安装于所述加工池（06）中上部区域；所述低粘性磨粒流（07）位于所述加工池（06）和管路系统内；所述上位机控制系统（08）通过所述变频器（09）与所述柱塞式水泵（10）连接，上位机控制系统（08）通过变频器（09）控制柱塞式水泵（10）的压力输出；所述柱塞式水泵（10）设置有两个出口和一个入口，所述柱塞式水泵（10）的其中一个出口与所述磨粒流注入管路系统（11）连接，所述磨粒流注入管路系统（11）的出口与所述抛光工具（03）的磨粒流注入口（0307）连接；所述柱塞式水泵（10）的另一个出口与所述安全管路系统（12）连接，所述安全管路系统（12）的出口与所述加工池（06）的底部连接，所述安全管路系统（12）保证管路水流压力安全；所述柱塞式水泵（10）的入口通过所述磨粒流输出管路系统（13）连接加工池（06）的底部。

2.根据权利要求1所述的一种分离式相控空化增强磨粒微射流抛光系统，其特征在于：所述抛光工具（03）包括固定本体（0301）、接线端盖（0302）、中部连接件（0303）、相控聚焦装置（0304）、角度调节件（0305）、微射流喷嘴（0306）、磨粒流注入口（0307）、喷嘴夹具（0308）；所述固定本体（0301）的上端面装夹在所述六自由度移动平台（02）的活动端；所述相控聚焦装置（0304）通过所述中部连接件（0303）安装在所述固定本体（0301）的底端；所述接线端盖（0302）安装在所述固定本体（0301）的侧面出线口位置；所述多通道相控发射系统（01）的连接线依次穿过接线端盖（0302）、固定本体（0301）、中部连接件（0303）后与所述相控聚焦装置（0304）相连；所述角度调节件（0305）安装于所述固定本体（0301）的侧壁位置；所述微射流喷嘴（0306）与喷嘴夹具（0308）固定连接，所述喷嘴夹具（0308）与所述角度调节件（0305）铰接；所述磨粒流注入口（0307）安装于所述微射流喷嘴（0306）的顶端位置。

3.根据权利要求2所述的一种分离式相控空化增强磨粒微射流抛光系统，其特征在于：所述相控聚焦装置（0304）包括顶部端盖（030401）、相控聚焦单元（030402）、耦合层（030403）、密封层（030404）；所述顶部端盖（030401）固定在所述中部连接件（0303）下方，所述耦合层（030403）安装于所述顶部端盖（030401）下方，加工时耦合层（030403）淹没于所述加工池（06）内的低粘性磨粒流（07）中，实现聚焦声波与磨粒流的有效耦合；所述密封层（030404）设置在所述顶部端盖（030401）和所述耦合层（030403）之间，实现所述顶部端盖（030401）和所述耦合层（030403）之间的可靠静密封；所述相控聚焦单元（030402）为线性阵列布置的矩形压电陶瓷片，位于所述顶部端盖（030401）和所述耦合层（030403）之间的密封的中空区域，所述多通道相控发射系统（01）的连接线直接与所述相控聚焦单元（030402）的接线端连接。