[发明专利]体声波谐振器组、滤波器、电子设备、机电耦合系数调整方法

说明书

本发明涉及一种体声波谐振器组件，包括设置在同一基底上的至少两个体声波谐振器，每一个谐振器包括：声学镜；底电极；顶电极；和压电层，所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域，其中：至少两个体声波谐振器包括第一谐振器与第二谐振器；第一谐振器包括第一压电层，第二谐振器包括第二压电层，第一压电层与第二压电层材料相同且同层布置，且第一压电层的厚度大于第二压电层的厚度。本发明还涉及一种机电耦合系数调整方法，一种包括上述体声波谐振器组的滤波器以及一种电子设备。

技术领域

本发明的实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种体声波谐振器组，一种具有该谐振器组的滤波器，一种具有该滤波器或谐振器组的电子设备，以及一种机电耦合系数调整方法。

背景技术

体声波滤波器具有低插入损耗、高矩形系数、高功率容量等优点，因此，被广泛应用在当代无线通讯系统中，是决定射频信号进出通讯系统质量的重要元器件。

以现有技术在同一个基底上相同频率的谐振器的机电耦合系数都不可调，通常频率定了谐振器的机电耦合系数就定了，不可调整。

但实际中需要用到相同频率但机电耦合系数不同的谐振器。因此，现有技术中存在如下需求：在同一基底上设置不同的谐振器，例如两个谐振器，例如其在同一基底上，可以具有相同的频率，同时具有不同的机电耦合系数。

发明内容

为解决现有技术中的上述技术问题的至少一个方面，提出本发明。

根据本发明的实施例的一个方面，提出了一种体声波谐振器组，包括设置在同一基底上的至少两个体声波谐振器，每一个谐振器包括：声学镜；底电极；顶电极；和压电层，所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域，其中：

至少两个体声波谐振器包括第一谐振器与第二谐振器；

第一谐振器包括第一压电层，第二谐振器包括第二压电层，第一压电层与第二压电层材料相同且同层布置，且第一压电层的厚度大于第二压电层的厚度。

根据本发明的实施例的另一方面，提出了一种机电耦合系数调整方法，包括步骤：

在同一基底上形成共用于第一体声波谐振器和第二体声波谐振器的压电层；

使得第二谐振器对应的第二压电层的厚度小于第一谐振器对应的第一压电层的厚度，以调整第一谐振器与第二谐振器的机电耦合系数之间的差值。

根据本发明的实施例的再一方面，提出了一种滤波器，包括上述的体声波谐振器组，在至少一个所述谐振器组中的两个体声波谐振器的机电耦合系数不同。

本发明的实施例还涉及一种电子设备，包括上述的滤波器或者谐振器组。

附图说明

以下描述与附图可以更好地帮助理解本发明所公布的各种实施例中的这些和其他特点、优点，图中相同的附图标记始终表示相同的部件，其中：

图1为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的截面示意图；

图2A-2D为示出根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的制造过程的截面示意图，其中也示出了调整机电耦合系数的一种示例性过程；

图3为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的截面示意图，其中顶电极设置有檐结构；

图4为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的截面示意图，其中顶电极与压电层之间设置有空隙层；

图5为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的截面示意图，其中顶电极设置有檐结构；

图6为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器组的截面示意图，其中第一谐振器的压电层为两层材料不同的压电层形成；