[发明专利]一种通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法在审
申请号: | 201911405899.4 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111132438A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 孙卫星;杨庆瑞;李鹏;罗先军 | 申请(专利权)人: | 上海安平静电科技有限公司 |
主分类号: | H05F3/04 | 分类号: | H05F3/04;H05F3/06;G05D27/02 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人: | 蔡海淳 |
地址: | 201100 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 通过 控制 气体 流量 稳定 离子棒 性能 方法 | ||
1.一种通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是:
在每个离子棒的压缩空气总进气端的气路上,设置一个压缩空气压力/流量检测模块,用以实时监测离子棒进气端压缩空气的压力/流量;
设置一个比较电路,用于将压缩空气压力/流量检测模块输出的实时检测值与设定标准值进行对比;
在每个离子棒总进气端的气路上,设置一个可调电磁阀,用于对进入每个离子棒的压缩空气进行实时调控;
比较电路的输出端与可调电磁阀的控制端对应电联接;
所述的比较电路根据压缩空气压力/流量检测模块输出的实时检测值与设定标准值的对比结果,输出对应的调整控制信号;
所述的可调电磁阀根据调整控制信号,对进入每个离子棒总进气端的压缩空气进行实时调控,以保证进入每个离子棒总进气端的压缩空气的压力或流量稳定。
2.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的压缩空气压力/流量检测模块至少包括压力表和/或流量表。
3.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的压缩空气压力/流量检测模块串联设置在可调电磁阀的前端。
4.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的可调电磁阀串联设置在压缩空气压力/流量检测模块的前端。
5.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的比较电路包括电压比较电路、运放比较电路、单片机电路、可编程控制器、工控机或上位机。
6.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的设定标准值包括标准压力设定值P0和/或标准流量设定值F0;
所述的比较电路读取压力/流量检测模块输出的压力值P和/或流量值F,并与设定的标准压力设定值P0和/或标准流量设定值F0进行对比。
7.按照权利要求6所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是当流入离子棒的气流压力和/或气流量等于标准设定值P0和/或F0时,比较电路不发出对可调电磁阀进行调整的指令;
当流入离子棒的气流压力和/或气流量小于标准设定值P0和/或F0,并大于压力最小限定值Pmin和/或流量最小限定值Fmin时,则比较电路输出“开阀”信号,控制可调电磁阀增大进气面积,增加进气流量;
当流入到离子棒内的气流压力和/或气流量大于标准设定值P0和/或F0,并小于最大限定值Pmax和/或Fmax时,则比较电路输出“关阀”信号,控制可调电磁阀减小进气面积,减少进气流量。
8.按照权利要求6所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是当流入离子棒的气流压力和/或气流量等于零时,比较电路发出报警信号;
当流入离子棒内的气流压力和/或气流量小于最小压力限定值Pmin和/或最小流量限定值Fmin时,比较电路发出报警信号;
当流入离子棒的气流压力和/或气流量大于最大压力限定值Pmax和/或最大流量限定值Fmax时,比较电路发出报警信号。
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