[发明专利]一种通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法在审

专利信息
申请号: 201911405899.4 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN111132438A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 孙卫星;杨庆瑞;李鹏;罗先军 申请(专利权)人: 上海安平静电科技有限公司
主分类号: H05F3/04 分类号: H05F3/04;H05F3/06;G05D27/02
代理公司: 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 代理人: 蔡海淳
地址: 201100 上海市闵行*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 通过 控制 气体 流量 稳定 离子棒 性能 方法
【权利要求书】:

1.一种通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是:

在每个离子棒的压缩空气总进气端的气路上,设置一个压缩空气压力/流量检测模块,用以实时监测离子棒进气端压缩空气的压力/流量;

设置一个比较电路,用于将压缩空气压力/流量检测模块输出的实时检测值与设定标准值进行对比;

在每个离子棒总进气端的气路上,设置一个可调电磁阀,用于对进入每个离子棒的压缩空气进行实时调控;

比较电路的输出端与可调电磁阀的控制端对应电联接;

所述的比较电路根据压缩空气压力/流量检测模块输出的实时检测值与设定标准值的对比结果,输出对应的调整控制信号;

所述的可调电磁阀根据调整控制信号,对进入每个离子棒总进气端的压缩空气进行实时调控,以保证进入每个离子棒总进气端的压缩空气的压力或流量稳定。

2.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的压缩空气压力/流量检测模块至少包括压力表和/或流量表。

3.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的压缩空气压力/流量检测模块串联设置在可调电磁阀的前端。

4.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的可调电磁阀串联设置在压缩空气压力/流量检测模块的前端。

5.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的比较电路包括电压比较电路、运放比较电路、单片机电路、可编程控制器、工控机或上位机。

6.按照权利要求1所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是所述的设定标准值包括标准压力设定值P0和/或标准流量设定值F0

所述的比较电路读取压力/流量检测模块输出的压力值P和/或流量值F,并与设定的标准压力设定值P0和/或标准流量设定值F0进行对比。

7.按照权利要求6所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是当流入离子棒的气流压力和/或气流量等于标准设定值P0和/或F0时,比较电路不发出对可调电磁阀进行调整的指令;

当流入离子棒的气流压力和/或气流量小于标准设定值P0和/或F0,并大于压力最小限定值Pmin和/或流量最小限定值Fmin时,则比较电路输出“开阀”信号,控制可调电磁阀增大进气面积,增加进气流量;

当流入到离子棒内的气流压力和/或气流量大于标准设定值P0和/或F0,并小于最大限定值Pmax和/或Fmax时,则比较电路输出“关阀”信号,控制可调电磁阀减小进气面积,减少进气流量。

8.按照权利要求6所述的通过控制气体流量来稳定离子棒消电性能的方法,其特征是当流入离子棒的气流压力和/或气流量等于零时,比较电路发出报警信号;

当流入离子棒内的气流压力和/或气流量小于最小压力限定值Pmin和/或最小流量限定值Fmin时,比较电路发出报警信号;

当流入离子棒的气流压力和/或气流量大于最大压力限定值Pmax和/或最大流量限定值Fmax时,比较电路发出报警信号。

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