[发明专利]一种多波长激光器

说明书

本发明提供了一种多波长激光器，其包括外壳框架，还包括位于外壳框架内的导热件，若干个光源模块安装于所述导热件上，每个光源模块连接一个光纤，所述光纤通过光纤耦合连接件自位于外壳框架上的光纤输出端接口输出，若干个所述光源模块产生不同波长的光线，相邻的所述光源模块产生光线的波长不同。通过对不同波长光源模块的规则排布，实现对不同波长的光源光线进行均匀分布的目的。

技术领域

本发明涉及直写式曝光机技术领域，具体涉及一种多波长激光器。

背景技术

光刻技术广泛应用于半导体和PCB生产领域，是制作半导体器件、芯片和PCB板等产品的工艺步骤之一，其用于在基底表面上印刷特征图形，最终获得依据电路设计所需的图形结构。传统的光刻技术需要制作掩膜的母版或者菲林底片进行曝光操作，制作周期长，且每一版对应单一图形，不能广泛应用。为解决传统光刻技术的问题，直写光刻机构应运而生，其利用数字光处理技术，通过可编程的数字反射镜装置实现编辑不同的所需的图形结构，能够快速切换图形，其不仅可以降低成本，还可以减少制程的时间，正广泛应用于光刻技术领域。

光刻的原理是通过曝光的方法将掩膜图像转移到涂覆于基底表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺，最终获得所需的图形结构。光刻胶是光刻工艺中的关键材料之一，常用的光刻胶包括油墨、防焊油墨等，也可分为干膜、湿膜等多种材料，其通过光照后形成相对于某些溶剂的可溶物或者不可溶物，通过刻蚀去除或者保留所述光刻胶，形成所需的图形结构。由于光刻胶材料的不同，其较佳的感光的波长也会发生变化，而目前应用于直写光刻机的激光光源的波长多为405nm，其对于防焊油墨等特定的光刻胶，由于曝光能量不足，光感应度低等问题，曝光效果不佳。所以对于防焊油墨等特定的光刻胶，通常采用多种波长的光源进行曝光，目前通常是将不同波长的光源通过光学系统进行融合，或者通过分开曝光的方式实现，各不同波长光源的均匀性较差。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种均匀性佳的多波长激光器。

其技术方案是这样的：一种多波长激光器，其包括外壳框架，还包括位于外壳框架内的导热件，若干个光源模块安装于所述导热件上，每个光源模块连接一个光纤，所述光纤通过光纤耦合连接件自位于外壳框架上的光纤输出端接口输出，若干个所述光源模块产生不同波长的光线，相邻的所述光源模块产生光线的波长不同。

进一步的，所述光源模块包括产生紫外波段光线的光源模块和产生红外波段光线的光源模块。

进一步的，所述光源模块包括三个不同波长的光源模块，其中两个光源模块的波长在紫外波段，其中一个光源模块的波长在红外波段。

进一步的，所述光源模块包括至少两个不同波长的紫外波段的光源模块。

进一步的，所述光源模块连接的光纤规则插入所述光纤耦合连接件，在所述光纤耦合连接件的出光口，相邻光纤的波长不同。

进一步的，所述光源模块包括至少三个不同波长的光源模块时，在第一方向上的所述光纤根据不同波长顺序排列在其垂直方向的排列顺序为根据所述第一方向的排列顺序间隔排列。

进一步的，所述光纤随机插入所述光纤耦合连接件。

进一步的，所述光纤耦合连接件的出光口为方形或者椭圆形或者腰形孔。

进一步的，所述腰形孔中间为矩形长边，两边为半圆形。

本发明的光纤耦合连接件具有以下优点：本发明多波长激光器，通过对不同波长光源模块的规则排布，实现对不同波长的光源光线进行均匀分布的目的，同时，不仅可以对不同波长光源模块的规则排布，也可以在光纤耦合连接件内对不同波长的光纤进行规则排布，进一步达到不同波长的光源光线进行均匀分布的目的。

附图说明

图1为本发明多波长激光器示意图。

图2为本发明的光纤耦合连接件的示意图。