[发明专利]一种基于柔性光电纳米薄膜的自驱动应变传感器

权利要求书

1.一种基于柔性光电纳米薄膜的自驱动应变传感器，用于测量待测构件的应变，其特征在于，包括一滑槽单元和设置在滑槽单元内的滑片单元；所述的滑槽单元包括底板、设置在底板一端的连接端以及设置在所述的底板中部的限位套筒，所述的滑片单元包括滑片本体以及设置在所述的滑片本体端部的凸起，所述的滑片本体可沿所述的滑槽单元移动，且通过所述的限位套筒实现所述的滑片本体与所述的滑槽单元贴合，所述的底板一端的连接端用于固连待测构件，所述的滑片本体端部的凸起也用于固连待测构件；所述的滑片本体与所述的滑槽单元贴合的表面设置感光层，所述的底板的底面设置遮光层；所述的滑槽单元与所述的滑片本体贴合的表面设置导电层；

所述的感光层包括光刻蚀衬底、以及设置在光刻蚀衬底上两侧的电极，其中一个电极上设置石墨烯层，另一个电极上设置Pa型硅层，且在所述的光刻蚀衬底上两个电极的中间，所述的Pa型硅层和石墨烯层依次铺设，所述的Pa型硅层靠近光刻蚀衬底。

2.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，所述的电极为铝电极。

3.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，所述的滑片本体由高压聚乙烯制成，所述的滑槽单元由乙酸乙烯酯含量大于30%的乙烯-乙酸乙烯共聚物制成。

4.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，所述的滑槽单元由丙烯-乙烯无规共聚物制成。

5.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，所述的滑片本体与所述的底板的长度相等，所述的滑片本体与所述的限位套筒的宽度相等。

6.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，还包括测量电路，测量电路包括电线与电信号测量装置，电信号测量装置测量应变传感器的感应电流。

7.根据权利要求1所述的自驱动应变传感器，其特征在于，所述测量电路集成在滑槽的底部。