[发明专利]一种单晶炉除尘过滤系统

说明书

本发明公开了一种单晶炉除尘过滤系统，包括除尘罐主体和真空泵组件，所述除尘罐主体与单晶炉连通，其中，所述除尘罐主体的内部设置有过滤单元，以过滤所述单晶炉排放的气体；所述除尘罐主体的下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口；所述真空泵组件包括：抽真空管路和设置在所述抽真空管路上的真空泵；所述抽真空管路与所述除尘罐主体连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉进行拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行抽真空并在所述单晶炉结束拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行吹气。该除尘过滤系统能够有效地将沉积在过滤单元和罐体底部的氧化物等杂质颗粒排出，防止堵塞排气管道，改善除尘效果。

技术领域

本发明涉及晶圆制造技术领域，更具体地，涉及一种单晶炉除尘过滤系统。

背景技术

单晶生长时，对真空要求较高，因此每台单晶炉都配有独立的真空泵来抽真空。请参见图1，图1是一种现有的单晶炉除尘系统的结构示意图。该单晶炉除尘系统结构简单，包括相互连通的除尘罐主体1和真空泵5，除尘罐主体1的底部为聚料区域，在拉晶炉2进行单晶拉制的过程中，真空泵5不断向外抽取拉晶炉2内气体，并使气体等杂质从排放口6排出。

然而，现有的单晶炉除尘系统内部的过滤单元3多为过滤管类型，通透性弱，过滤面积小；另一方面，在拉晶炉2的初始准备阶段，由于拉晶炉2内部的压强小于除尘罐主体1内部的压强，容易发生气体倒吸现象，使除尘罐主体1内部的气体进入拉晶炉2内部，倒吸后对炉内洁净度影响非常严重，尤其在加料抽真空阶段，如有倒吸，则拉晶炉2中的多晶硅料将无法使用，如未发现，则在拉晶过程中会由于杂质含量过多而影响生成的晶棒的单晶率和单晶品质。此外，由于在除尘过程中拉晶产生的氧化物等杂质颗粒会在除尘罐主体1底部堆积，拉晶结束后很难对其进行清除，这会造成排气管道堵塞，从而影响除尘效果。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种单晶炉除尘过滤系统。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本发明提供了一种单晶炉除尘过滤系统，包括除尘罐主体和真空泵组件，所述除尘罐主体与单晶炉连通，其中，

所述除尘罐主体的内部设置有过滤单元，以过滤所述单晶炉排放的气体；所述除尘罐主体的下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口；

所述真空泵组件包括：

抽真空管路和设置在所述抽真空管路上的真空泵；

所述抽真空管路与所述除尘罐主体连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉进行拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行抽真空并在所述单晶炉结束拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行吹气。

在本发明的一个实施例中，所述除尘罐主体通过连接管路与所述单晶炉连通，并且所述连接管路上设置有泄爆阀。

在本发明的一个实施例中，所述过滤单元设置在所述除尘罐主体的内腔上部，并且所述连接管路与所述除尘罐主体连接处的开口方向朝向所述过滤单元。

在本发明的一个实施例中，所述连接管路上还设置有单向逆止阀，用于防止所述除尘罐主体内的气体进入所述单晶炉。

在本发明的一个实施例中，所述抽真空管路包括主管路以及与所述主管路连通的第一支管和第二支管，其中，所述真空泵设置在所述主管路上。

在本发明的一个实施例中，所述第一支管连接至所述除尘罐主体的上端侧壁，所述第一支管上设置有第一阀门；所述第二支管连接至所述除尘罐主体的下端侧壁，所述第二支管上设置有第二阀门。

在本发明的一个实施例中，所述除尘罐主体的下端侧壁上开设有吹气口，所述第二支管沿与所述除尘罐主体外壁相切的方向与所述吹气口连接。

在本发明的一个实施例中，所述除尘罐主体的内腔设置有螺旋状引流板，所述螺旋状引流板以螺旋盘绕的方式固定在所述除尘罐主体的内侧壁，且所述螺旋状引流板的下端设置在所述吹气口的下侧。