[发明专利]一种蚀刻设备的精密温控系统

权利要求书

1.一种蚀刻设备的精密温控系统，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上方左侧固定连接有控水装置(2)，所述控水装置(2)的输出端连接有进水管(3)，所述控水装置(2)的输入端通过皮带与第一传送带(4)的传动轮转动连接，所述第一传送带(4)的中部与机体(1)固定连接，所述机体(1)的内部左上方设置有第一清洗室(5)，所述第一清洗室(5)的内部上方设置有第一清洗装置(6)，所述第一清洗装置(6)的输入端与进水管(3)连通，所述第一清洗室(5)的内部下方设置有第一蓄水池(7)，所述第一清洗室(5)的下方设置有第二清洗室(8)，所述第二清洗室(8)的内部上方设置有第二清洗装置(9)，第二清洗装置(9)的输入端通过管道与第一蓄水池(7)的下方连通，所述第二清洗室(8)的下方设置有第二蓄水池(10)，所述机体(1)的内部中上方设置有第一烘干室(11)，所述第一烘干室(11)的内部上方固定安装有第一烘干器(12)，所述第一烘干室(11)的下方设置有腐蚀室(13)，所述机体(1)的内部右侧设置有准备室(14)，所述机体(1)的内部左下方设置有第二烘干室(15)，所述第二烘干室(15)的内部上方固定安装有第二烘干器(16)，所述机体(1)的内部下方还固定连接有第二传送带(17)；

所述控水装置(2)包括有控水装置盒(201)、活动轮(202)、第一活杆(203)、第二活杆(204)、滑槽(205)、滑块(206)、运输管(207)、进水孔(208)和出水孔(209)，所述控水装置盒(201)的前部右侧设置有滑槽(205)，所述控水装置盒(201)的底部与机体(1)的上方左侧固定连接，所述控水装置盒(201)的前部通过轴承转动连接有活动轮(202)，所述活动轮(202)的前部与第一活杆(203)的一端转动连接，所述第一活杆(203)另一端与第二活杆(204)的一端转动连接，所述第二活杆(204)的另一端与滑块(206)铰接，所述滑块(206)的后侧与滑槽(205)滑动连接，所述滑块(206)的右侧设置有运输管(207)，所述运输管(207)远离滑块(206)的一端与进水管(3)套接，所述运输管(207)的右上方开设有进水孔(208)，所述运输管(207)的下侧开设有出水孔(209)；

所述第一清洗装置(6)包括有水压增压器(601)、伸缩杆(602)、套管(603)、上喷盘(604)、下喷盘(605)、软管(606)、喷头(607)和清洗管(608)，所述清洗管(608)的一端与进水管(3)连通，所述清洗管(608)的中部固定安装有水压增压器(601)，所述水压增压器(601)的底部固定连接有伸缩杆(602)，所述水压增压器(601)的底部还转动连接有套管(603)，所述套管(603)的下端固定连接有上喷盘(604)，所述上喷盘(604)的下端与软管(606)的一端固定连接，所述软管(606)的另一端固定连接有下喷盘(605)，所述上喷盘(604)和下喷盘(605)的底部外侧设置有喷头(607)；

所述第一烘干器(12)包括有烘干器架(1201)、发热管(1202)、第一导线(1203)、第二导线(1204)、第一电阻片(1205)、第二电阻片(1206)、活塞管(1207)、导电活塞(1208)和弹簧(1209)，所述烘干器架(1201)的两侧与第一烘干室(11)的内壁固定连接，所述烘干器架(1201)的下端固定安装有发热管(1202)，所述烘干器架(1201)的上端两侧分别与第一导线(1203)和第二导线(1204)的一端电性连接，所述第一导线(1203)和第二导线(1204)的另一端分别电性连接有第一电阻片(1205)和第二电阻片(1206)，所述第一电阻片(1205)和第二电阻片(1206)的外侧与活塞管(1207)的内壁固定连接，所述活塞管(1207)的内部上方固定连接有弹簧(1209)，所述弹簧(1209)的下端与导电活塞(1208)的上端固定连接，所述活塞管(1207)与导电活塞(1208)活动连接，所述活塞管(1207)的下端与上喷盘(604)连通。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述第一清洗装置(6)与第二清洗装置(9)为相同设置。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备的精密温控系统，其特征在于：所述第一烘干器(12)与第二烘干器(16)为相同设置。