[发明专利]一种大尺寸钛靶材与铜背板的扩散焊接方法

权利要求书

1.一种大尺寸钛靶材与铜背板的扩散焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)准备所需的大尺寸Φ350～Φ450mm的钛靶材和Φ400～Φ550mm的铜背板；

2)对钛靶材、铜背板进行精加工，表面粗糙度1.6um以下，对铜背板进行机械加工形成深度0.2～0.4mm，间距0.4～0.6mm的螺纹，增大焊接时钛与铜的接触面积，并对钛靶材及铜背板进行酸洗，去除焊接面的氧化层；

3)将钛靶材及铜背板调整到合适位置放置，将不锈钢套环套装在钛靶材外围，用以填充钛靶材与铜背板形状不同的部分使其形状规则，不锈钢套环内径和钛靶材外径相匹配，使其均匀受力；不锈钢套环均匀分隔成3部分，方便热压完成后的脱模过程；然后将上热压头、下热压头和热压模具依次安装完成，放入真空热压炉内进行热压扩散焊接，将钛靶材焊接至铜背板上，热压扩散焊接温度为450℃，保温时间为5h，施加压力为40MPa，随后保持2～5℃/min降温速率缓慢降温，降温过程保持高压状态，降低异种材料焊接变形及残余应力，最终得到钛靶材-铜背板焊接组件，整体弯曲变形量为1.5mm，焊接强度为61MPa。