[发明专利]废水净化装置、废水净化方法、感应件组及感应单元

说明书

一种废水净化装置、废水净化方法、感应件组及感应单元，用于净化一废水，废水净化装置包括：槽体、第一电极板、第二电极板以及至少一感应件组或感应单元。第一电极板定位于槽体中且具有正电位。第二电极板定位于槽体中且具有负电位。感应件组或感应单元定位于槽体中且设置于第一电极板与第二电极板之间，其包括第一感应件以及第二感应件，第一感应件经第一电极板感应后具有负电位，第二感应件经第二电极板感应后具有正电位，废水由进流口进入该槽体并流经第一电极板，第二电极板、第一感应件以及二感应件后被净化，净化后的水由该出流口流出。

技术领域

本发明有关于一种废水净化装置及方法，特别是有关于一种化学机械研磨制程废水中的二氧化硅或硅酸盐的净化装置及方法，以及所使用的感应件组及感应单元。

背景技术

近年来，由于半导体制程的快速发展，对于晶圆表面平坦化的要求也越来越高，因此化学机械研磨的制程也越显重要。化学机械研磨的制程会产生大量的废水，这些废水可以用化学混凝处理，但是化学混凝处理后的水，由于加入的酸碱药剂及混凝剂使其导电度偏高，使处理后的水不易回收使用。

因此现今发展出电解混凝法，其主要是使化学机械研磨的废水通过电解槽，其阳极释放出二价铁离子，废水中的二氧化硅(Silica)颗粒或硅酸盐与二价铁离子进行电性中和后附着在阳极板上形成阳极污泥。另外，二价铁离子在溶液中会与水分子及水中溶氧形成水合的胶状悬浮物，而吸附二氧化硅颗粒，并沉降至电解槽底部形成槽底污泥。如此分离出二氧化硅的净化后的水可供再循环利用。

请参阅图1及图2，其表示现有技术的电解混凝法的电解槽T，在槽体T1中复数个阳极电极板A与复数个阴极电极板C交替设置，各阳极电极板A(通电阳极板)利用电夹头A1以及导线A2并联至电源B的高电位，阴极电极板C(通电阴极板)利用电夹头C1以及导线C2并联至电源B的低电位，废水由进水口T2进入电解槽T，在电解槽T经由上述机制将废水中的二氧化硅或硅酸盐分离出来，净化后的水由出水口T3流出电解槽T，可供回收利用。

但是现有技术的电解槽T，由于其每个阳极电极板A与阴极电极板C均连接至电源B，在电解混凝法的制程中，每个阳极电极板A与阴极电极板C都需要消耗电力，因此整体需要消耗大量的电力。另外，由于每个阳极电极板A与每个阴极电极板C需要分别安装在槽体T1的插槽中，清洁及更换电极板相当繁复不便。在电解混凝法的制程中会产生一些具有腐蚀性的气体，这些腐蚀性气体会腐蚀电夹头A1及电夹头C1等电气元件。现有技术的电解槽T对二氧化硅或硅酸盐的去除效果不佳。另外，如图3所示，在拆卸电极板时，容易碰触到相邻的极性相反的电极板而造成短路。

另外，含二氧化硅的污泥会沉积在电解槽T的槽体T1的底部。就现有技术的电解槽T的结构而言，如果要清除槽体T1底部的污泥，就必须先拆卸阳极电极板A与阴极电极板C，才能清除槽体T1底部的污泥，甚为不便。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种废水净化装置及方法，其用于解决现有技术的耗电、安装拆卸过程繁复、腐蚀、对二氧化硅的去除效果不佳以及容易造成短路的问题。

本发明所采用的技术手段如下所述。

为了解决上述问题，本发明的废水净化装置的一实施例包括用于净化一化学机械研磨制程的废水，该废水净化装置包括：一槽体、一第一电极板、一第二电极板以及至少一感应件组。槽体包括一进流口以及一出流口。第一电极板定位于槽体中且具有一正电位。第二电极板定位于槽体中，且具有一负电位。感应件组定位于槽体中且设置于第一电极板与第二电极板之间，其包括一第一感应件以及一第二感应件，第一感应件位于第一电极板与第二感应件之间，第二感应件位于第二电极板与第一感应件之间。第一感应件经第一电极板感应后具有负电位，第二感应件经第二电极板感应后具有正电位，废水由进流口进入该槽体并流经第一电极板，第二电极板、第一感应件以及二感应件后被净化，净化后的水由该出流口流出。

在另一实施例中，感应件组更包括至少一绝缘连结件，其连结第一感应件以及第二感应件。