[发明专利]激光加工设备

权利要求书

1.一种激光加工设备，其包括：

激发光生成部，其生成激发光；

激光输出部，其基于通过所述激发光生成部生成的激发光生成激光并发出该激光；

激光扫描部，其向工件照射从所述激光输出部发出的激光，并且在所述工件的表面上扫描从所述激光输出部发出的激光；以及

壳体，至少所述激光输出部和所述激光扫描部设置在所述壳体中，

其中，所述激光加工设备包括：

距离测量光发出部，其设置在所述壳体中，并且发出用于测量从所述激光加工设备到所述工件的表面的距离的距离测量光；

一对光接收元件，其接收从所述距离测量光发出部发出且被所述工件反射的距离测量光，所述一对光接收元件的光轴以夹着所述距离测量光发出部的光轴的方式配置在所述壳体的内部；

距离测量部，其基于距离测量光在所述一对光接收元件中的光接收位置，通过三角测量法测量从所述激光加工设备到所述工件的表面的距离；

汇合机构，其在所述壳体内设置在从所述激光输出部到所述激光扫描部的光路的途中，所述汇合机构通过使从所述距离测量光发出部发出的距离测量光在所述光路中汇合，经由所述激光扫描部向所述工件引导距离测量光，并且所述汇合机构向所述一对光接收元件引导被所述工件反射且向所述激光扫描部返回的距离测量光；以及

光接收透镜，其配置在所述壳体的内部，使得所述一对光接收元件的各光轴均穿过所述光接收透镜，并且所述光接收透镜配置在连接所述汇合机构和所述一对光接收元件的光路的途中，所述光接收透镜使已经被所述工件反射且已经穿过所述汇合机构的距离测量光在所述一对光接收元件各自的光接收面上聚集。

2.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，

从所述汇合机构到所述一对光接收元件的光路长度比从所述汇合机构到所述距离测量光发出部的光路长度长。

3.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，

所述一对光接收元件沿与所述距离测量光发出部的光轴正交的方向配置。

4.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，

所述距离测量光发出部包括光投射透镜，所述光投射透镜设置在所述一对光接收元件与所述光接收透镜之间，并且所述光投射透镜被配置成使得所述距离测量光发出部的光轴穿过所述光投射透镜。

5.根据权利要求4所述的激光加工设备，其特征在于，

所述壳体中设置有沿着所述距离测量光发出部的光轴延伸的支撑基台，

所述距离测量光发出部包括距离测量光源，所述距离测量光源发出被所述光投射透镜聚集的距离测量光，并且

所述距离测量光源和所述光投射透镜均经由所述支撑基台固定。

6.根据权利要求5所述的激光加工设备，其特征在于，

所述一对光接收元件和所述光接收透镜均固定于所述支撑基台。

7.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，

所述光接收透镜包括一对光接收透镜，

所述一对光接收透镜中的一者的光轴穿过所述一对光接收元件中的一者，并且

所述一对光接收透镜中的另一者的光轴穿过所述一对光接收元件中的另一者。

8.根据权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，

所述光接收透镜的主表面和所述一对光接收元件各自的光接收面被配置成不遵循Scheimpflug原理。

9.根据权利要求8所述的激光加工设备，其特征在于，

在所述光接收透镜与所述一对光接收元件各自的光接收面之间，或者在所述汇合机构与所述光接收透镜之间，或者在所述光接收透镜与所述一对光接收元件各自的光接收面之间以及在所述汇合机构与所述光接收透镜之间，设置有用于调整向所述光接收面入射的光量的光阑。