[发明专利]用于双片微通道板叠加测试的装置和方法

权利要求书

1.一种用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，包括真空泵组、电子/离子源、双片叠加的微通道板测试用管壳以及信号检测系统，其中：

所述的真空泵组用于为微通道的测试提供达到10^-3Pa的真空环境；

电子/离子源，用于提供入射到双片叠加的微通道板测试用管壳的电子/离子；

双片叠加的微通道板测试用管壳，包括呈中心对称式安装的多个连接环，待测试的微通道板分别通过压环从管壳的两端安装，并且由管壳提供电压接口以及通过管壳进行微通道板的距离和位置调节；

信号检测系统，用于根据入射到管壳的电子/离子对微通道板的测试过程中相应电流进行测量；

其中，所述双片叠加的微通道板测试用管壳包括位于中心的中心陶瓷环（306）以及从中心陶瓷环（306）依次向两边安装并且呈对称式布置的MCP支撑环（305）、第一陶瓷环（302A）、压圈固定环（304）、第二陶瓷环（302B）、压簧支撑环（303）、第三陶瓷环（302C）以及外金属环，其中，每个压簧支撑环（303）、压圈固定环（304）、MCP支撑环（305）均设置有突出的极片，位于中心陶瓷环（306）的每一侧的压簧支撑环（303）与压圈固定环（304）的极片接合。

2.根据权利要求1所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述电子/离子源输出的电子/离子的数量及能量可调节。

3.根据权利要求1所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述双片叠加的微通道板测试用管壳中通过调节MCP支撑环（305）和中心陶瓷环（306）的厚度，控制所需测试的两片微通道板之间的距离。

4.根据权利要求1所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述双片叠加的微通道板测试用管壳中，所述中心陶瓷环（306）表面镀金属膜层。

5.根据权利要求4所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述双片叠加的微通道板测试用管壳中调整缩小MCP支撑环（305）的尺寸厚度使得MCP支撑环（305）仅起到提供电压的作用，两片微通道板之间的距离仅受中心陶瓷环（306）厚度的影响。

6.根据权利要求5所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述两片微通道板之间的距离最小达到0.1mm。

7.根据权利要求1所述的用于双片微通道板叠加测试的装置，其特征在于，所述信号检测系统包括高度可调节的阳极片和/或荧光屏，作为信号接收系统，并且：由电流表构成电流测量系统，测量微通道板输出电流；以及通过荧光屏成像反映微通道板的成像质量。

8.一种根据权利要求1所述的装置进行双片微通道板叠加测试的方法，其特征在于，包括：

控制电子/离子源输出电子源或者离子源，并依据测试所需的电子/离子的数量及能量对电子/离子源进行调节；

使用双片叠加的微通道板测试用管壳，分别从管壳的两端进行独立安装两块待测试的微通道板，微通道板在安装过程中互相不干扰；

测试过程中，对两片微通道板的间距由双片叠加的微通道板测试用管壳进行控制，包括：通过MCP支撑环和中心陶瓷环的厚度控制；

利用高度可调节的阳极片或荧光屏作为信号接收系统，实现对双片叠加的微通道板输出电流或成像质量进行测试。

9.据权利要求8所述双片微通道板叠加测试的方法，其特征在于，通过在中心陶瓷环表面镀金属膜层，并改变MCP支撑环的尺寸厚度，使MCP支撑环仅起到提供电压的作用，两片微通道板的距离仅受中心陶瓷环厚度的影响，使两个微通道板之间的距离进一步减小，达到0.1mm。

10.据权利要求9所述双片微通道板叠加测试的方法，其特征在于，在测试过程中，利用双片叠加的微通道板测试用管壳的中心对称性，通过双片叠加的微通道板测试用管壳的旋转，改变测试时两片微通道板的相对位置而不需要对微通道板及其相关的电极进行重新安装。