[发明专利]硬掩模用化合物、包含所述化合物的硬掩模组合物及利用其的半导体元件精细图案形成方法

权利要求书

1.一种包含多环芳香族化合物的硬掩模用化合物，所述多环芳香族化合物在相互非对称型位置取代有至少2个以上羟基。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用化合物，其中，

所述多环芳香族化合物为选自由用下述化学式1表示的化合物及用下述化学式2表示的化合物构成的组的至少一种以上，

[化学式1]

在所述化学式1中，

R₁及R₄相互独立，其中至少一者为碳数6至20的芳香族烃基，其余为羟基、碳数1至10的烷基或碳数6至20的芳香族烃基，

R₂、R₃、R₅及R₆分别独立地为氢、碳数1至10的烷基或-OR_o，此时，R_o为氢或碳数1至10的烷基，

[化学式2]

在所述化学式2中，

R₇、R_7a、R₈及R_8a相互独立，其中至少两者以上为羟基，其余为碳数1至10的烷基或碳数6至20的芳香族烃基，所述羟基具有相互不对称结构，

R₉、R₁₀、R₁₁及R₁₂分别独立地为氢、碳数1至10的烷基或-OR_o，此时，R_o为氢或碳数1至10的烷基，

n及m分别独立地为0至3中任意一个整数。

3.根据权利要求2所述的硬掩模用化合物，其中，

在所述化学式1中，R₁及R₄相互独立，其中至少一者为碳数6至20的芳香族烃基，其余为羟基或碳数6至20的芳香族烃基，

R₂、R₃、R₅及R₆分别独立地为氢或-OR_o，此时，R_o为氢或碳数1至10的烷基。

4.根据权利要求2所述的硬掩模用化合物，其中，

在所述化学式1中，R₁及R₄分别独立地为碳数6至20的芳香族烃基，

R₂及R₅分别独立地为氢或-OR_o，此时，R_o为氢或碳数1至10的烷基，

R₃及R₆分别独立地为氢。

5.根据权利要求2所述的硬掩模用化合物，其中，

用所述化学式1表示的化合物为选自由用下述化学式1a至1l表示的化合物构成的组的至少一种以上，

[化学式1a]

[化学式1b]

[化学式1c]

[化学式1d]

[化学式1e]

[化学式1f]

[化学式1g]

[化学式1h]

[化学式1i]

[化学式1j]

[化学式1k]

[化学式1l]

6.根据权利要求2所述的硬掩模用化合物，其中，

在所述化学式2中，R₇、R_7a、R₈及R_8a相互独立，其中至少两者以上为羟基，其余为碳数6至20的芳香族烃基，所述羟基具有相互不对称结构，

R₉、R₁₀、R₁₁及R₁₂分别独立地为氢或-OR_o，此时，R_o为氢或碳数1至10的烷基，

n及m分别独立地为0至3中任意一个的整数。